浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种晶棒切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117162296B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311224002.4,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种晶棒切割方法是由曹建伟;朱亮;王金荣;沈一丰设计研发完成,并于2023-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶棒切割方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶棒切割方法,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术同时切割多个晶棒容易断线的问题。本发明包括以下步骤:设定1个单位长度,在切割线每间隔1个单位长度内,以切割线径向方向的两侧至少分别布置1个晶棒;将各个晶棒进给至与切割线相抵,获取切割线的线弓信息;根据线弓信息调整晶棒的进给速度和或位置。本发明通过在切割线径向方向的两侧至少分别布置1个晶棒,使得相邻晶棒之间的作用力方向相反,可以减小切割线单个方向的受力,以此降低切割线的断线率;通过获取切割线的线弓信息,并根据线弓信息调整晶棒的进给速度和或位置,进一步降低断线率。
本发明授权一种晶棒切割方法在权利要求书中公布了:1.一种晶棒切割方法,其特征在于,包括以下步骤: 设定1个单位长度,在切割线100每间隔1个单位长度内,以切割线100径向方向的两侧至少分别布置1个晶棒200,晶棒200总数不少于3个,且每个晶棒200可以独立控制; 将各个晶棒200进给至与切割线100相抵,获取切割线100的线弓信息; 根据线弓信息调整晶棒200的进给速度和位置,所述根据线弓信息调整晶棒200的进给位置包括以下步骤:判断比较相邻晶棒200产生的切割线100线弓大小,使产生线弓较小的晶棒200向靠近产生线弓较大的晶棒200方向进给。
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