宁波元芯光电子科技有限公司陈泉安获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波元芯光电子科技有限公司申请的专利一种薄膜铌酸锂器件及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117233985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210645424.8，技术领域涉及：G02F1/03；该发明授权一种薄膜铌酸锂器件及其制作方法是由陈泉安;陆明之设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜铌酸锂器件及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种薄膜铌酸锂器件及其制作方法，所述薄膜铌酸锂器件由下至上依次包括衬底、缓冲层、铌酸锂层、绝缘层和热电极，所述铌酸锂层为薄膜铌酸锂，所述铌酸锂层包括与热电极对应的热调相移区以及沿第一方向位于热调相移区两侧的铌酸锂波导，所述第一方向为光传导的方向；在铌酸锂层上设置有介质波导，所述介质波导与热电极位置对应并且位于铌酸锂层和热电极之间，所述铌酸锂波导和介质波导共同构成光波导。与现有技术相比，本发明的优点在于：通过在热电极的热调相移区形成介质波导，能够避免铌酸锂波导刻蚀产生的Z界面导致的热光偏置相位的改变，从而提供一种消除热电效应电荷积累的热光偏置结构，避免热光偏置工作点漂移。
本发明授权一种薄膜铌酸锂器件及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种薄膜铌酸锂器件，由下至上依次包括衬底1、缓冲层8、铌酸锂层2、绝缘层3和热电极4，所述铌酸锂层2为薄膜铌酸锂，所述铌酸锂层2包括与热电极4对应的热调相移区23以及沿第一方向位于热调相移区23两侧的铌酸锂波导24，所述第一方向为光传导的方向；其特征在于：在铌酸锂层2上设置有介质波导5，所述介质波导5与热电极4位置对应并且位于铌酸锂层2和热电极4之间，所述铌酸锂波导24和介质波导5共同构成光波导，所述介质波导5为氮化硅制成的波导。
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