先导薄膜材料(广东)有限公司文崇斌获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种碲靶及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117361450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311193233.3,技术领域涉及:C01B19/02;该发明授权一种碲靶及其制备方法与应用是由文崇斌;朱刘;童培云设计研发完成,并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碲靶及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本公开提供一种碲靶及其制备方法与应用,属于靶材制备的技术领域。本公开碲靶的制备方法,包括以下步骤:S1:将含有碲块的模具装入坩埚中,进行真空密封,所得坩埚置于垂直加热炉中;S2:然后加热至600‑700℃,保温30‑90min;S3:保温结束后,坩埚以5‑10rmin旋转速度并以0.05‑0.5mmmin的降温速率降温至室温,即得碲靶。本公开通过控制保温的温度、时间、旋转速度和降温速率获得了致密度高的碲靶,提高了碲靶的导电性、导热性以及强度。
本发明授权一种碲靶及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种碲靶的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:将含有碲块的模具装入坩埚中,进行真空密封,所得坩埚置于垂直加热炉中; S2:然后加热至600-700℃,保温30-90min; S3:保温结束后,坩埚以5-10rmin旋转速度并以0.1-0.5mmmin的降温速率降温至室温,即得碲靶。
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