本源量子计算科技(合肥)股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉本源量子计算科技(合肥)股份有限公司申请的专利超导线路及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117460398B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311433435.0,技术领域涉及:H10N60/01;该发明授权超导线路及其制造方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;贾志龙设计研发完成,并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本超导线路及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超导线路及其制造方法。该制造方法包括:提供衬底,衬底具有相对的两个表面以及贯穿衬底的通孔;在通孔的孔壁和两个表面形成互连的超导层;在通孔内形成与超导层异质且填满通孔的金属柱;在衬底表面的超导层上形成覆盖通孔的光刻胶图形;在光刻胶图形保护下对衬底表面的超导层进行刻蚀,形成与光刻胶图形形状一致的超导线路。通过上述方式,本发明能够防止通孔周边的光刻胶缺失,避免衬底两个表面的超导线路断连。
本发明授权超导线路及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种超导线路的制造方法,其特征在于,包括: 提供衬底,所述衬底具有相对的两个表面以及贯穿所述衬底的通孔; 在所述通孔的孔壁和所述两个表面形成互连的超导层; 在所述通孔内形成与所述超导层异质且填满所述通孔的金属柱; 在所述衬底表面的超导层上形成覆盖所述通孔的光刻胶图形; 在所述光刻胶图形保护下对所述衬底表面的超导层进行刻蚀,形成与所述光刻胶图形形状一致的超导线路。
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