中国科学院宁波材料技术与工程研究所韩冬阳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117645472B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311565247.3，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材是由韩冬阳;张文瑞;胡束东;刘凯森;叶继春设计研发完成，并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材在说明书摘要公布了：本发明公开了一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材，镓酸锌靶材的制备方法包括步骤1：将氧化锌粉末和氧化镓粉末混合得到混合粉末，将混合粉末与溶剂混合后，通过球磨获得浆料；步骤2：将浆料烘干，研磨成粉末；步骤3：将粉末压制成素坯；步骤4：将素坯进行第一次烧结，得半成品靶材，第一次烧结温度为1250～1650℃；步骤5：将半成品靶材倒置进行第二次烧结，得镓酸锌靶材，第二次烧结温度为800～1300℃且第二次烧结温度小于第一次烧结温度。本申请在靶材第一次烧结后，将靶材富锌面朝上进行第二次高温烧结，使镓酸锌靶材组分分布更均匀，使用该镓酸锌靶材的氧化物薄膜晶体质量和工艺稳定性得到提高，适用于工业化生产。
本发明授权一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材在权利要求书中公布了：1.一种镓酸锌靶材的制备方法，其特征在于：包括， 步骤1：将氧化锌粉末和氧化镓粉末混合得到混合粉末，将混合粉末与溶剂混合后，通过球磨获得浆料； 步骤2：将浆料烘干，而后研磨成粉末； 步骤3：将粉末压制成素坯； 步骤4：将素坯进行第一次烧结，得到半成品靶材，其中第一次烧结温度为1250~1650℃； 步骤5：将步骤4得到的半成品靶材倒置后进行第二次烧结，得到所述镓酸锌靶材，其中第二次烧结温度为800~1300℃并且所述第二次烧结温度小于第一次烧结温度； 所述第二次烧结时间为4~10h、所述第一次烧结时间为6~12h，并且所述第一次烧结时间大于等于第二次烧结时间。
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