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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776673B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311640961.4，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法是由谢小林;张世翔;潘泓羽;文崇斌设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于钙钛矿太阳能电池材料领域，公开了一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将NiO粉和MgO粉按照Mg的原子百分含量为0.1～10at％进行配料，将配好的粉末装入双运动混合机中均质混合处理，然后将混合均匀的粉末冷压至5～10MPa后，抽真空至小于10Pa，然后升温至300～400℃保温预处理，再升温至1000～1200℃并加压至30～50MPa进行热压烧结，得到靶坯；将所得坯靶依次采用金刚石砂轮磨面和水切割切割外圆，得到高密度镍镁氧靶材。本发明制备方法操作简单、成本低，所制备的靶材组分均匀、导电性良好、内部无缺陷，密度高，符合溅射靶要求。

本发明授权一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度镍镁氧靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： 1配料：将NiO粉和MgO粉按照Mg的原子百分含量为0.1~10at%进行配料； 2均质：将配好的粉末装入双运动混合机中均质混合处理； 3热压烧结：将步骤2混合均匀的粉末冷压至5~10MPa后，抽真空至小于10Pa，然后升温至300~400℃保温预处理，再升温至1000~1200℃并加压至30~50MPa进行热压烧结，得到靶坯； 4靶坯加工：将所得靶坯依次采用金刚石砂轮磨面和水切割切割外圆，得到高密度镍镁氧靶材； 步骤1中所述NiO粉的纯度大于99.99%，粉末粒径D90为1~10μm，粉末BET比表面积为0.5~10m2g； 步骤2中所述双运动混合机中均质混合处理的桶转速为10~20rmin，叶片转速为20~40rmin； 步骤3中所述冷压至5~10MPa及加压至30~50MPa的加压速率为0.1~0.6MPamin； 步骤4中所述水切割的切割速率为40~100mmmin。

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