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柔电(武汉)科技有限公司肖翌获国家专利权

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龙图腾网获悉柔电(武汉)科技有限公司申请的专利一种双锥旋转流化床ALD流化反应器及其包覆粉体颗粒的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119372627B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411399642.3,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权一种双锥旋转流化床ALD流化反应器及其包覆粉体颗粒的方法是由肖翌;解明;孙君设计研发完成,并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种双锥旋转流化床ALD流化反应器及其包覆粉体颗粒的方法在说明书摘要公布了:本发明公布了一种双锥旋转流化床ALD流化反应器及其包覆粉体颗粒的方法,包括流化室、沉积槽、旋转机构、导气管、真空泵,流化室,其上下端被封闭,流化室的外侧面对称连通两根导气管,一根导气管与流化气供应系统连通,用于向流化室内输送含有前驱反应气的流化气体,另一根导气管与尾气检测系统及真空泵依次连通,两根导气管被旋转机构操控,用于使反应釜被周期性按翻转周期翻转,反应釜每次翻转后,使颗粒直径大的粉体比颗粒直径小的粉体更快沉降到沉积槽中,沉降到沉积槽中的粉体颗粒停止或急剧降低发生原子层沉积反应机会,而未沉降到沉积槽中粉体颗粒,悬浮在流化气体中,继续与前驱反应气反应形成单层包覆物。

本发明授权一种双锥旋转流化床ALD流化反应器及其包覆粉体颗粒的方法在权利要求书中公布了:1.一种双锥旋转流化床ALD流化反应器,其特征在于,包括流化室、沉积槽、旋转机构、导气管、真空泵,所述流化室为上下端不封口的柱状箱体,沉降通道贯通柱状箱体的上下端面,流化室的外侧面连接有两根导气管,两根导气管共轴心且相对流化室对称布置,一根导气管与流化气供应系统连通,用于向流化室内输送含有前驱反应气的流化气体,另一根导气管与尾气检测系统及真空泵依次连通,用于排出反应尾气,两根导气管均居中设置在流化室的外侧面,且被旋转机构操控,用于使流化室被周期性按翻转周期翻转,两个碗状的沉积槽的碗口朝向沉降通道,分别对称封闭沉降通道的两端,形成流化反应器,一个沉积槽的锥面安装有排料阀;所述翻转使流化室底部的沉积槽翻转到流化室上部; 所述沉积槽被设计成锥形或球冠形,包括搅拌器,所述搅拌器包括搅拌棒和均匀布设在搅拌棒的两端圆周面上的搅拌叶,搅拌棒的一端与驱动机构枢轴连接,搅拌棒的另一端靠近一个沉积槽远离碗口的一端,所述搅拌叶呈螺旋状环绕搅拌棒设置,所述搅拌器用于将先沉积在所述流化反应器底部的沉积槽的底部的粒径较大的粉体颗粒提升到沉积槽上部,同时使后沉积在沉积槽的上部的粒径较小的粉体颗粒流转到沉积槽的底部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人柔电(武汉)科技有限公司,其通讯地址为:430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区光佛祖岭街道高新四路28号武汉光谷电子工业园三期4号厂房栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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