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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利真空传片机构及半导体检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411942420.1，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权真空传片机构及半导体检测设备是由韩春营;许鸿亮;米涛;倪进华设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空传片机构及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种真空传片机构及半导体检测设备，真空传片机构包括第一固定架、第二固定架、转移组件以及顶升机构，第一固定架设置于缓冲腔室，第二固定架设置于主腔室，转移组件用于在第一固定架与第二固定架之间传输晶圆，转移组件包括机座与旋臂，旋臂沿高度方向可活动地设置于机座，旋臂与机座可转动地连接；顶升机构设置于主腔室，顶升机构包括驱动组件与顶升块，驱动组件用于驱动顶升块上升，以将晶圆向上顶起脱离第二固定架，或驱动顶升块下降，使晶圆下落至第二固定架上。真空传片机构通过转移组件的单轴升降实现晶圆在缓冲腔室与主腔室之间的传送，从而降低传片过程中出现位差的概率，提升传片精度及传片可靠性。

本发明授权真空传片机构及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种真空传片机构，其特征在于，用于在缓冲腔室和主腔室之间传输晶圆，所述真空传片机构包括： 第一固定架，设置于所述缓冲腔室； 第二固定架，设置于所述主腔室，所述第二固定架包括多个沿高度方向延伸的第二顶针，多个所述第二顶针阵列排布以形成承托面； 转移组件，用于在所述第一固定架与所述第二固定架之间传输晶圆，所述转移组件包括机座与旋臂，所述旋臂沿高度方向可活动地设置于所述机座，所述旋臂与所述机座可转动地连接以带动晶圆在所述第一固定架与所述第二固定架之间转移； 顶升机构，设置于所述主腔室，所述顶升机构包括驱动组件与顶升块以及沿高度方向延伸的导向结构，所述驱动组件驱动所述顶升块沿所述导向结构往复运动，所述驱动组件用于驱动所述顶升块上升，以将晶圆向上顶起使其脱离所述第二固定架，或驱动所述顶升块下降，使晶圆下落至所述第二固定架上； 其中，所述导向结构包括与所述第二顶针滑动配合的导向件，所述导向件与所述顶升块连接，所述导向件可滑动地连接于所述第二顶针以限制所述顶升块的移动方向。

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