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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119495597B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410744823.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由中根慎悟设计研发完成，并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置，可在使热处理板滑动移动时避免滑动阻力过度变大。引导板151固定于主体框架11，且沿X方向延伸。第一板153能够相对于引导板151沿X方向滑动移动。第二板155相对于热板20固定，且能够相对于第一板153沿X方向滑动移动。联动分离机构70在热板20从处理位置P1移动至中间位置P3的情况下，使第一板153与所述第二板联动，在热板20从中间位置P3移动至维护位置P2的情况下，使第二板155与第一板153分离。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 热处理板，对基板进行热处理； 主体框架，对所述热处理板进行支撑；以及 至少一个滑动构件，使所述热处理板沿与铅垂方向交叉的第一方向从所述主体框架内侧的处理位置移动至维护位置， 所述滑动构件具有： 引导板，固定于所述主体框架，且沿所述第一方向延伸； 第一板，能够相对于所述引导板沿所述第一方向滑动移动； 第二板，相对于所述热处理板固定，且能够相对于所述第一板沿所述第一方向滑动移动；以及 联动分离机构，在所述热处理板从所述处理位置移动至所述处理位置与所述维护位置之间的中间位置的情况下，使所述第一板与所述第二板联动，在所述热处理板从所述中间位置移动至所述维护位置的情况下，使所述第二板与第一板分离； 所述滑动构件在与所述第一方向正交的方向上，设置于所述热处理板的侧方； 所述基板处理装置具有一对所述滑动构件， 一对所述滑动构件在与所述第一方向及铅垂方向分别交叉的第二方向上相互分离， 所述热处理板在所述第二方向上位于一对所述滑动构件之间， 所述第一板在所述第二方向上配置于所述引导板与所述第二板之间， 所述联动分离机构包括： 可动按压构件，设置于所述第一板，且能够沿所述第二方向移动； 限制突部，设置于所述第一板，且向所述第二板侧突出； 可动卡合突部，设置于所述第二板，能够与所述限制突部卡合，且能够沿所述第二方向移动； 弹性构件，设置于所述第二板，且对所述可动卡合突部朝向所述第一板侧施力；以及 凸轮构件，设置于所述引导板，且向所述第一板侧突出， 在所述热处理板从所述处理位置移动至所述中间位置的情况下，在所述第一方向上，所述可动卡合突部与所述限制突部卡合， 在所述热处理板到达所述中间位置的情况下，所述可动按压构件被所述凸轮构件按压，从而所述可动按压构件向所述第二板侧移动，所述可动卡合突部被所述可动按压构件按压，从而所述可动卡合突部向比所述限制突部更靠第二板侧处移动。

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