株式会社斯库林集团墨周武获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542115B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410835279.9，技术领域涉及：H10P95/90；该发明授权基板处理方法是由墨周武设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明在利用超临界状态的处理流体使在表面以堆液状态形成有有机溶剂的液膜的基板干燥的基板处理方法以及基板处理装置中，实现缩短干燥时间。在向处理腔室供给处理流体而使所述处理腔室从大气压升压至成为亚临界状态的第1压力的工序中，处理流体的一部分混合至液膜。由此，液膜的表面张力变小，构成液膜的混合液＝有机溶剂+处理流体的一部分从基板垂落，液膜的膜厚变薄。在此，通过在表面张力变小的阶段对基板附加振动，混合液的一部分从基板进一步垂落，液膜进一步变薄。在该薄膜化处理之后，执行与超临界状态的处理流体的基板干燥。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，利用超临界状态的处理流体使基板干燥，所述基板在表面以堆液状态形成有有机溶剂的液膜，所述基板处理方法的特征在于，包括： a工序，将所述基板收容在处理腔室内； b工序，向所述处理腔室供给处理流体，使所述处理腔室从大气压升压至成为亚临界状态的第1压力； c工序，向升压至所述第1压力的所述处理腔室供给所述处理流体，使所述处理腔室升压至成为所述超临界状态的第2压力；以及 d工序，在从开始所述工序b到所述处理腔室成为所述超临界状态为止的升压期间内，在通过所述处理流体的溶解而使所述液膜的表面张力下降的状态下通过对所述基板附加振动，维持所述堆液状态地使所述液膜的膜厚减少。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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