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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560362B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411750693.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种刻蚀设备是由李进;葛绍理设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种刻蚀设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种刻蚀设备，包括：腔室；基座设置于所述腔室内；介质窗设置于腔室上方；加热组件设置于介质窗上表面的中央区域，用于加热介质窗的中央区域，加热组件包括圆形主体，圆形主体上设置沿所述圆形主体的周向排布的多个扇形贯穿孔；底座设置于介质窗和腔室上缘之间，底座包括边缘加热件，边缘加热件用于加热所述介质窗的边缘区域；压板设置于加热组件上方；介质窗或压板上设置支撑块，支撑块被配置为穿过扇形贯穿孔。本发明通过加热组件和边缘加热件实现边缘和中心加热，确保了控温的均一性，另外设置扇形贯穿孔，便于支撑块支撑加热组件，防止加热组件被过力挤压。

本发明授权一种刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括： 腔室； 基座，所述基座设置于所述腔室内； 介质窗，所述介质窗设置于所述腔室上方； 加热组件，所述加热组件设置于所述介质窗上表面的中央区域，用于加热介质窗的中央区域，所述加热组件包括圆形主体，所述圆形主体上设置沿所述圆形主体的周向排布的多个扇形贯穿孔； 底座，所述底座设置于所述介质窗和腔室上缘之间，所述底座包括边缘加热件，所述边缘加热件用于加热所述介质窗的边缘区域； 压板，所述压板设置于所述加热组件上方，用于将所述加热组件固定于所述介质窗上； 其中，所述介质窗或压板上设置支撑块，所述支撑块被配置为穿过所述扇形贯穿孔支撑所述加热组件； 所述圆形主体包括： 上绝缘层； 加热层，所述加热层设置于上绝缘层下方； 屏蔽层，所述屏蔽层设置于所述加热层下方； 下柔性导热绝缘层，所述下柔性导热绝缘层设置于屏蔽层下方； 其中，所述屏蔽层的直径大于加热层，以在所述圆形主体的周向边缘形成露出部； 所述底座还包括环体和压紧件，所述底座的外侧壁设置沿着环体的周向延申的横槽，所述边缘加热件设置于所述横槽的里侧，所述压紧件设置于所述横槽的外侧。

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