拓荆科技(上海)有限公司李培培获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆遮边机构及半导体器件的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119685804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411863087.5，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种晶圆遮边机构及半导体器件的加工方法是由李培培;李疆琨设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆遮边机构及半导体器件的加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆遮边机构及半导体器件的加工方法。所述晶圆遮边机构包括：固定环，设于加热盘边缘，其中，所述固定环上设有多个固定点；遮挡组件，包括多段阴影环及对应数量的支撑杆，其中，所述多段阴影环分别经由对应的支撑杆旋转连接对应的固定点；以及多个移动杆，穿过所述固定环抵接对应的支撑杆，用于带动对应的阴影环和支撑杆以对应固定点为轴向上旋转，以开启所述遮挡组件，或以各所述固定点为轴向下旋转，关闭所述遮挡组件，以遮挡所述加热盘上的晶圆的边缘。
本发明授权一种晶圆遮边机构及半导体器件的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆遮边机构，其特征在于，包括： 固定环，设于加热盘边缘，其中，所述固定环上设有多个固定点； 遮挡组件，包括多段阴影环及对应数量的支撑杆，其中，所述多段阴影环分别经由对应的支撑杆旋转连接对应的固定点；以及 多个移动杆，穿过所述固定环抵接对应的支撑杆，经由所述多个移动杆上升，带动对应的阴影环和支撑杆以对应固定点为轴向上旋转，以开启所述遮挡组件，或以各所述固定点为轴向下旋转，关闭所述遮挡组件，以遮挡所述加热盘上的晶圆的边缘。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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