杭州富芯半导体有限公司乔鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725189B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411825057.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法是由乔鹏设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法，该晶圆传送手臂包括晶圆包覆腔及位置调节组件。晶圆包覆腔包括环形下壁体及环形侧壁，环形侧壁自环形下壁体的外沿沿垂直于环形下壁体的方向向上延伸，以构成环形包覆结构。环形包覆结构包括至少两个弧形包覆结构，至少两个弧形包覆结构能够做相互靠近或远离运动。位置调节组件设置于环形下壁体和或环形侧壁上，每个位置调节组件包括距离传感器及悬浮力提供部，距离传感器与悬浮力提供部间隔设置，悬浮力提供部基于距离传感器所测量的晶圆位置信息调整晶圆悬浮力，以控制晶圆至晶圆包覆腔内壁体的距离。由此，本发明能够避免由于晶圆翘曲度的存在而吸不住晶圆，造成破片的问题。
本发明授权晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送手臂，其特征在于，包括： 晶圆包覆腔，至少包括环形下壁体及环形侧壁，所述环形侧壁自所述环形下壁体的外沿沿垂直于所述环形下壁体的方向向上延伸，以构成环形包覆结构，所述环形包覆结构包括至少两个弧形包覆结构，所述至少两个弧形包覆结构能够做相互靠近或远离运动； 位置调节组件，设置于所述环形下壁体和或环形侧壁上，每个所述位置调节组件包括距离传感器及悬浮力提供部，所述距离传感器与所述悬浮力提供部间隔设置，所述悬浮力提供部提供悬浮力以使晶圆悬浮于所述晶圆包覆腔内，并基于所述距离传感器所测量的晶圆位置信息调整所述晶圆的悬浮力，以控制所述晶圆至所述晶圆包覆腔内壁体的距离。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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