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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种巨量转移装置及转移方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119894200B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510057786.9，技术领域涉及：H10H29/03；该发明授权一种巨量转移装置及转移方法是由陈云;张子超;赵雪莹;吴文轩;侯茂祥;马莉;陈新设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种巨量转移装置及转移方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造技术领域，尤其是一种巨量转移装置及转移方法，操作台设有取料工位和放料工位，取料工位用于放置晶圆盘，放料工位用于放置电路基板；旋转转移机构设于操作台的上方，旋转件可移动地设置于安装座的侧壁，驱动件用于驱动旋转件围绕安装座移动，若干组转移组件间隔地安装于旋转件；当一组转移组件位于取料工位的上方时，另有一组转移组件位于放料工位的上方，两组转移组件同时实施取料和放料。通过设计旋转转移机构，能够在一次旋转过程中同时完成取料和放料操作，这种并行操作的方式显著减少了传统技术中吸附装置在晶圆和电路基板之间多次往返所需的时间，从而提高巨量转移的整体效率。

本发明授权一种巨量转移装置及转移方法在权利要求书中公布了：1.一种巨量转移装置，其特征在于：包括操作台和旋转转移机构； 所述操作台设有取料工位和放料工位，所述取料工位用于放置晶圆盘，所述放料工位用于放置电路基板； 所述旋转转移机构设于所述操作台的上方，所述旋转转移机构包括安装座、旋转件、驱动件和四组转移组件，所述驱动件安装于所述安装座，所述旋转件可移动地设置于所述安装座的侧壁，所述驱动件用于驱动所述旋转件围绕所述安装座移动，四组所述转移组件间隔地安装于所述旋转件； 当一组所述转移组件位于所述取料工位的上方时，另有一组所述转移组件位于所述放料工位的上方，两组所述转移组件同时实施取料和放料； 所述旋转件包括依次连接的第一部、第二部、第三部和第四部；所述旋转转移机构的左右前后四个方向的区域分别作为取料区、放料区、待放料区和待取料区，当所述旋转件运动时，所述第一部、所述第二部、所述第三部和所述第四部可分别位于所述取料区、所述放料区、所述待放料区和所述待取料区；所述转移组件为四组，四组所述转移组件分别设置于所述第一部、所述第二部、所述第三部和所述第四部，所述驱动件通过驱动所述旋转件带动四组所述转移组件依次循环通过所述取料区、所述待放料区、所述放料区和所述待取料区；当一组所述转移组件位于所述取料区时，另外三组所述转移组件分别位于所述待放料区、所述放料区和所述待取料区；位于所述取料区的转移组件实施取料时，位于放料区的转移组件实施放料； 所述旋转转移机构包括两组限位组件，两组所述限位组件通过安装架安装于所述安装座；一组所述限位组件位于所述取料区的上方，该一组所述限位组件用于将所述转移组件限位于所述取料区，另一组所述限位组件位于所述放料区的上方，该另一组所述限位组件用于将所述转移组件限位于所述放料区； 所述转移组件包括限位件、第一弹性件和若干个转移头；两个所述限位件前后相对地安装于所述旋转件，所述第一弹性件的两端分别与两个所述限位件连接，若干个所述转移头间隔地安装于所述第一弹性件； 各组所述限位组件均包括两个电磁吸附子组件，两个所述电磁吸附子组件前后相对设置，两个所述电磁吸附子组件之间的距离与所述转移组件的长度相等；所述电磁吸附子组件包括电磁铁、第二弹性件和限位铁块，所述电磁铁安装于所述安装架，所述限位铁块通过所述第二弹性件设于所述电磁铁的下方；当所述电磁铁通电时，所述电磁铁吸附所述限位铁块，所述限位铁块与所述转移组件不干涉；当所述电磁铁断电时，所述电磁铁不吸附所述限位铁块，前后两个所述限位铁块分别位于两个所述限位件前后两侧。

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