中山大学郑伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510113663.2，技术领域涉及：C23C16/34；该发明授权一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏及其制备方法是由郑伟;朱思琪设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：取英寸级的蓝宝石单晶作为衬底，选取铝极性面作为生长面；使用石墨夹具固定衬底，一并放入化学气相沉积炉内，抽真空后使用石墨加热器将炉体加热至反应温度；然后将原料气体和载气N22通入炉内，同时石墨夹具和石墨加热器在高温下分解从而提供适量的碳源，气体混合反应在衬底上沉积晶态氮化硼膜；用酒精浸泡使氮化硼膜与衬底分离，并裁剪后固定在铝板上，制成中子闪烁屏。该氮化硼膜致密透明，并且由于碳缺陷展现强蓝光发射特性，可作为微米分辨的中子闪烁屏。本发明成功实现微米分辨的氮化硼中子闪烁屏，并证实了其在高分辨中子成像方面的潜力。
本发明授权一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微米分辨的氮化硼中子闪烁屏的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1、取英寸级的蓝宝石单晶作为衬底，选取铝极性面作为生长面；将衬底利用石墨夹具固定，一并放入化学气相沉积炉内，将炉体抽真空至10-3Pa以下； 步骤S2、使用石墨加热器将炉体侧向加热至反应温度1400～1600℃，然后将两种原料气体BCl3和NH3、或BF3和NH3按照体积比为1:1.4～1.5，和载气N2一起通入炉内，同时石墨夹具和石墨加热器分解从而提供碳源，气体混合反应在衬底上沉积晶态氮化硼膜；通气后温度保持在反应温度1400～1600℃保温3～5h，进行保温生长； 步骤S3、断电，氮化硼蓝宝石随炉冷却室温出炉，将氮化硼膜与衬底分离，裁剪后制成氮化硼中子闪烁屏； 在氮化硼生长过程中，高温使得石墨夹具和石墨加热器发生轻微的分解，从而引入了少量的碳源。
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