中科苏州微电子产业技术研究院庞影影获国家专利权
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龙图腾网获悉中科苏州微电子产业技术研究院申请的专利异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120579514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510740188.1,技术领域涉及:G06F30/398;该发明授权异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法及系统是由庞影影设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法及系统,涉及集成电路制造技术领域,包括通过采集物理版图信息,计算载流子迁移轨迹及实际电导率分布,执行网格划分及细分,计算电流密度、焦耳热损耗及温度分布,设置温度监测点,标记热点区域,动态调整功能模块工作参数,实现温度控制。本发明可提高电热验证精度,降低热点区域温度,延长芯片使用寿命,优化堆叠结构性能。
本发明授权异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法及系统在权利要求书中公布了:1.异质化工艺3D堆叠互连结构的电热协同验证方法,其特征在于,包括: 采集异质化工艺3D堆叠互连结构的物理版图信息,生成初始应力分布数据; 根据初始应力分布数据,计算载流子在各层芯片单元内的迁移路径,得到载流子迁移轨迹矩阵,计算各层芯片单元的实际电导率分布; 将异质化工艺3D堆叠互连结构划分为多个网格单元,并在电流密度大于预设密度阈值的区域执行网格细分操作,生成网格单元数据; 根据网格单元数据和实际电导率分布,计算各网格单元的电流密度和焦耳热损耗,得到初始热量分布数据,计算各网格单元的初始温度值; 在网格单元中设置温度监测点实时采集温度数据,并与初始温度值进行对比,将温度变化率超过预设温度变化阈值的网格单元及对应的相邻单元标记为热点区域; 计算热点区域的温度梯度,结合功能模块的功耗敏感度参数生成功率调节指令,动态调整功能模块的工作参数; 根据调整后的工作参数重新计算各网格单元的温度分布,重复温度监测和功率调节,直至所有监测点温度低于预设温度阈值,输出验证结果。
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