买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种稳流风囊泵及半导体湿法制程送液系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120798757B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511285744.7，技术领域涉及：F04B43/10；该发明授权一种稳流风囊泵及半导体湿法制程送液系统是由原桂龙;于宏伟;蹇敦亮设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种稳流风囊泵及半导体湿法制程送液系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种稳流风囊泵及半导体湿法制程送液系统，属于半导体制造装置技术领域。风囊泵包括：泵头；气缸，所述气缸包括设置在泵头两侧的泵壳和密封板，所述泵壳的一端与泵头连接，另一端与密封板螺纹连接；所述泵壳、密封板和泵头之间形成气相工作腔室；风囊，所述风囊设置在气相工作腔室内且内部中空形成液相工作腔室；所述泵头上设有至少三个开孔，每个所述开孔内均固定有第二连接杆，所述风囊的第一端外周设有第一凸缘，所述第一凸缘上设有第二通孔，所述第二连接杆穿过所述第二通孔，以固定连接所述风囊和泵头。本方案风囊泵结构与送液系统的设计，使得半导体湿法制程中液流输送更为平稳可控，有利于生产质量与生产效率的提高。

本发明授权一种稳流风囊泵及半导体湿法制程送液系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体湿法制程送液系统，其特征在于，包括： 稳流风囊泵； 空压机，与风囊泵气动连接，用于为所述风囊泵提供动力； 气泡过滤装置，与风囊泵通过管道连接； 流量计，所述流量计固定在所述气泡过滤装置上游的管道上； 控制器，所述控制器与所述流量计和空压机信号连接； 所述流量计，包括： 至少一对超声波换能器，所述超声波换能器包括外夹部件，所述外夹部件与超声波换能器转动连接； 换能器控制装置，所述换能器控制装置包括计时组件和信号传输组件； 控制终端，所述控制终端与换能器控制装置信号连接； 屏显装置，所述屏显装置与处理器信号连接或电性连接； 所述控制终端包括： 存储器，用于存储超声波传感器的流量计量系统获取的数据及处理程序； 处理器，用于执行流量计数据处理程序； 通信单元，用于接收获取的数据或传输处理所得数据，建立通信通道； 所述流量计的数据处理程序处理数据的方法为： 采集若干组超声波换能器发出与接收超声波的时间和超声波的波速； 根据时间计算时间差值，确定标准阈值，根据所述标准阈值筛选有效数据和偏移数据； 根据波速计算波速降低比率并根据波速降低比率计算气泡含量，再根据气泡含量对偏移数据进行补偿，将补偿后的时间差值与有效数据更新为新的有效数据，建立有效数据组； 根据有效数据组，计算流体流速，建立流速数据组； 将流速数据组进行流体状态修正与夹角修正，取平均获得流速数据； 所述有效数据组至少为5组； 所述有效数据组还包括根据每次测量获得的流速数据、超声波波速和时间差值建立流量计数字孪生模型，用于在流速数据和超声波的波速之间构建函数关系，从而对后续的流量计数据处理起到预测与可靠性判断的作用； 所述流体状态修正为： 首先，对流体状态进行判断：流体的雷诺系数Re=； 其中，ρ为流体的密度，μ为流体的动力粘度，D为管道直径，vn为任意组数据所得的流体流速；当Re2000时为湍流，Re2000时为层流； 再根据流体状态进行流速修正： 层流状态下，vn1=43vn； 湍流状态下，vn1=vn； 所述vn1为任意组数据流体状态修正的流体流速； 所述夹角修正为： 对于超声波换能器之间连线与管道之间的夹角θ，vn2=vn1cosθ，所述vn2为夹角修正后所得流体流速； 所述确定标准阈值包括： 根据若干组计算所得的时间差值寻找极小值，将极小值作为Δt，即气泡含量为0时的时间差值； 当任意所述时间差值Δtn=Δt时，为有效数据； 当任意所述时间差值Δtn≠Δt时，若Δt≦Δtn≦1.2Δt，为偏移数据；若Δtn≧1.2Δt，为无效数据；n=1,2,3，……； 至少以五组所述时间差值作为寻找极小值的数组，并实时将新的时间差值与Δt进行比对，将比对的极小值迭代为新的Δt； 所述根据波速计算波速降低比率为：发出的波速与接收的波速的差值与发出的波速的比值即为波速降低比率； 所述根据波速降低比率计算气泡含量具体为，根据流量计标定数据拟合公式，根据波速降低比率计算得到气泡含量： X=aq2+bq+c，0≦X≦0.2； 其中，q为波速降低比率，X为气泡含量，由于数据的离散性及参数估计的统计性质，参数a、b、c的值均为一个范围，在对气泡含量进行计算时，利用最大似然估计法对每个数据点的参数进行求解并计算获得气泡含量； 所述根据气泡含量对偏移数据进行补偿具体为： ； 其中∑dtn为任意偏移数据的补偿时间差值；c0为超声波在气泡中的声速；c为超声波在所测流体中的声速；L为超声波换能器之间的水平距离；Xn为与任意时间差值对应的气泡含量；r为所测量流量所在管道的半径； 补偿后的偏移数据Δtn’=Δtn+∑dtn；将Δtn’作为新的Δtn； 所述流体流速的计算公式为： ，vn为任意组数据所得的流体流速；L0为超声波换能器之间的直线距离； 流体所述流量Q=πr2*v，v为修正得到的一次测量的流速。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛贝斯兰半导体科技有限公司，其通讯地址为：266500 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号智造谷5#楼厂房1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。