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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种LED晶圆的光电联合批量检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854310B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511338220.X，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种LED晶圆的光电联合批量检测方法及装置是由吕毅军;张仁主;林培根;朱丽虹;陈国龙;陈忠设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LED晶圆的光电联合批量检测方法及装置在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种LED晶圆的光电联合批量检测方法及装置，将光束传输至空间光调制器进行图案调制，得到压缩感知编码图案；将所述压缩感知编码图案聚焦到待检测晶圆表面，以使所述待检测晶圆产生光致发光信号和光生电流信号；通过柔性导电层对所述待检测晶圆产生的光生电流信号进行导出；采集所述待检测晶圆产生的光致发光信号和由所述柔性导电层导出的光生电流信号；将所述压缩感知编码图案、采集到的所述光致发光信号以及所述光生电流信号输入压缩观测模型，利用稀疏信号重建算法得到所述待检测晶圆的真实光电信号。在不损伤芯片的前提下，实现了晶圆的高速、高通量、光电联合批量检测。

本发明授权一种LED晶圆的光电联合批量检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种LED晶圆的光电联合批量检测方法，其特征在于，所述方法包括： 将光束传输至空间光调制器进行图案调制，得到压缩感知编码图案； 将所述压缩感知编码图案聚焦到待检测晶圆表面，以使所述待检测晶圆产生光致发光信号和光生电流信号； 通过柔性导电层对所述待检测晶圆产生的光生电流信号进行导出； 采集所述待检测晶圆产生的光致发光信号和由所述柔性导电层导出的光生电流信号； 将所述压缩感知编码图案、采集到的所述光致发光信号以及所述光生电流信号输入压缩观测模型，利用稀疏信号重建算法得到所述待检测晶圆的真实光电信号； 所述将光束传输至空间光调制器进行图案调制，得到压缩感知编码图案，包括： 获取激光器输出的激发光，将所述激发光输入准直镜进行调整，得到均匀的平行光束； 将所述平行光束传输至空间光调制器进行图案调制，在预设的哈达玛压缩感知编码序列或沃尔什压缩感知编码序列的驱动下形成压缩感知编码图案； 所述通过柔性导电层对所述待检测晶圆产生的光生电流信号进行导出，包括： 将所述待检测晶圆放置于一柔性微纳电极上方； 通过一透明盖板向所述待检测晶圆施加压力，使所述待检测晶圆下表面与所述柔性微纳电极的上表面形成紧密贴合； 所述光生电流信号通过所述柔性微纳电极与外部电流采集电路形成通路并被导出；所述柔性微纳电极采用柔性材料构成，表面排布有阵列状的微柱导电结构。

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