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龙图腾网获悉深圳市正运动技术有限公司申请的专利晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120862705B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511385511.4，技术领域涉及：B25J9/16；该发明授权晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手是由郑孝洋;古国保设计研发完成，并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手在说明书摘要公布了：本申请公开了晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手，涉及晶圆机械手技术领域。方法包括：将目标执行数据输入至晶圆机械手的正解模型，计算出末端执行器在直角坐标系下的目标位置坐标与在极坐标系下的目标极径的绝对值和目标极角。根据目标位置坐标与目标极角的方向一致性，确定目标极径的符号状态，得到目标极坐标。将目标极坐标输入至晶圆机械手的逆解模型，控制末端执行器运动至所述目标极坐标；当极角不变且极径非负时，控制末端执行器沿着极角方向运动；当极角不变且极径为正时，控制末端执行器沿着极角反方向运动。本申请可以表达极角保持不变、极径线性跨过原点的连续路径，并基于极坐标表达简化了正逆解模型。

本发明授权晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手在权利要求书中公布了：1.一种晶圆机械手的极坐标控制方法，其特征在于，所述晶圆机械手包括末端执行器，所述方法包括： 将目标执行数据输入至所述晶圆机械手的正解模型，计算出所述末端执行器在直角坐标系下的目标位置坐标，以及在极坐标系下的目标极径的绝对值和目标极角； 根据所述目标位置坐标与所述目标极角的方向一致性，确定所述目标极径的符号状态，得到目标极坐标；其中，为带符号的所述目标极径，为所述目标极角； 将所述目标极坐标输入至所述晶圆机械手的逆解模型，并基于所述目标极坐标，输出相应的关节控制指令，控制所述末端执行器运动至所述目标极坐标； 其中，当不变且时，控制所述末端执行器沿着角度为的方向运动；当不变且时，控制所述末端执行器沿着角度为的方向运动； 所述晶圆机械手为双臂晶圆机械手，具体包括主旋转盘、固定于所述主旋转盘的第一侧臂和第二侧臂，以及分别连接于所述第一侧臂和第二侧臂的用于搬运晶圆的第一末端执行器和第二末端执行器；在所述将目标执行数据输入至所述晶圆机械手的正解模型的步骤之前，所述方法还包括： 获取所述双臂晶圆机械手的结构参数，并基于所述双臂晶圆机械手的结构参数，建立所述正解模型和所述逆解模型；其中，所述双臂晶圆机械手的结构参数包括所述第一侧臂的长度、所述第二侧臂的长度、所述主旋转盘的旋转中心坐标、所述第一侧臂相对于所述主旋转盘的安装偏移量以及所述第二侧臂相对于所述主旋转盘的安装偏移量； 所述方法还包括： 响应于模式选择指令，控制进入第一侧臂主导模式或者第二侧臂主导模式； 所述将所述目标极坐标输入至所述晶圆机械手的逆解模型，并基于所述目标极坐标，输出相应的关节控制指令，控制所述末端执行器运动至所述目标极坐标的步骤具体包括： 在所述第一侧臂主导模式下，将所述目标极坐标输入所述晶圆机械手的逆解模型，并基于所述目标极坐标，输出相应的第一关节控制指令，控制所述主旋转盘与所述第一侧臂的运动，使得所述第一末端执行器运动至所述目标极坐标； 其中，所述主旋转盘的转动还用于带动所述第二侧臂的运动；当不变且时，控制所述第一末端执行器沿着角度为的方向运动；当不变且时，控制所述第一末端执行器沿着角度为的方向运动； 在所述第二侧臂主导模式下，将所述目标极坐标输入所述晶圆机械手的逆解模型，并基于所述目标极坐标，输出相应的第二关节控制指令，控制所述主旋转盘与所述第二侧臂的运动，使得所述第二末端执行器运动至所述目标极坐标； 其中，所述主旋转盘的转动还用于带动所述第一侧臂的运动；当不变且时，控制所述第二末端执行器沿着角度为的方向运动；当不变且时，控制所述第二末端执行器沿着角度为的方向运动。

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