深圳市壹倍科技有限公司李思杰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市壹倍科技有限公司申请的专利基于AOI系统的量测精度评估方法、缺陷标准片、设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120870152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511397494.6,技术领域涉及:G01N21/93;该发明授权基于AOI系统的量测精度评估方法、缺陷标准片、设备及介质是由李思杰;孔一帆;刘宏有;黄岚;许旭阳;荣高琪;高锦龙设计研发完成,并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于AOI系统的量测精度评估方法、缺陷标准片、设备及介质在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体缺陷检测技术领域,尤其涉及一种基于AOI系统的量测精度评估方法、缺陷标准片、设备及介质,通过获取AOI系统检测缺陷标准片得到的量测偏位结果,其中,量测偏位结果包括偏位映射图和偏位分布直方图,缺陷标准片包括多个按照预设规则排列的矩形阵列单元,且各矩形阵列单元包含至少一个预设位置缺陷,将偏位映射图中的实测偏移数据与预设目标偏移数据进行对比,得到对比结果,并判断偏位分布直方图中的不同偏移量对应的高斯峰是否满足预设分布条件,得到判断结果,根据对比结果和判断结果,确定精度评估结果,从而能够实现对AOI系统的量测精度进行精准评估,以填补新型显示行业内对于阵列目标偏位缺陷检测精度标准的空白。
本发明授权基于AOI系统的量测精度评估方法、缺陷标准片、设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种基于AOI系统的量测精度评估方法,其特征在于,包括: 获取AOI系统检测缺陷标准片得到的量测偏位结果,其中,所述量测偏位结果包括偏位映射图和偏位分布直方图,所述缺陷标准片包括多个按照预设规则排列的矩形阵列单元,且各所述矩形阵列单元包含至少一个预设位置缺陷; 将所述偏位映射图中的实测偏移数据与预设目标偏移数据进行对比,得到对比结果,并判断所述偏位分布直方图中的不同偏移量对应的高斯峰是否满足预设分布条件,得到判断结果; 根据所述对比结果和所述判断结果,确定精度评估结果,其中,所述精度评估结果用于评估所述AOI系统的量测精度水平是否符合精度需求; 其中,所述获取AOI系统检测缺陷标准片得到的量测偏位结果之前,包括: 获取所述AOI系统中所述缺陷标准片的放置位置信息; 根据所述放置位置信息,对所述缺陷标准片进行对焦调整,得到缺陷标准片图像; 对所述缺陷标准片图像按照预设的图像尺寸进行裁剪,得到裁剪后的缺陷标准片图像; 利用预设的边缘检测算法从所述裁剪后的缺陷标准片图像中依次提取多个目标像素特征; 根据各所述目标像素特征和预先标定的映射关系,依次确定所述裁剪后的缺陷标准片图像中的实际像素坐标,其中,所述映射关系为预先设置目标像素特征和实际像素坐标之间的标定关系; 依次计算各所述实际像素坐标和理论像素坐标之间的坐标差值,其中,所述理论像素坐标为未发生偏位的像素坐标; 根据所述坐标差值,确定量测偏位结果。
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