上海邦芯半导体科技有限公司张朋兵获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种半导体刻蚀设备及颗粒物在线清理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120878529B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511380622.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种半导体刻蚀设备及颗粒物在线清理方法是由张朋兵;唐乐;顾橙蕾设计研发完成，并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体刻蚀设备及颗粒物在线清理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体刻蚀设备及颗粒物在线清理方法，应用于半导体制造装备技术领域，其中设备包括至少一个工艺腔模块、至少一个辅助处理模块和中央传输机器人；辅助处理模块内设有上下电极板及由驻极体材料制成的模拟晶圆，可通过施加高压电对其充电或放电；在需要清理工艺腔颗粒物时，将已充电的模拟晶圆传输至工艺腔，利用静电力吸附颗粒物后传回辅助腔放电，最终清理辅助腔即可。本发明首创“转移式”在线清理理念，能在完全不破坏工艺腔真空和工艺状态的条件下高效清除颗粒污染物，彻底避免了传统方式所需的破真空与陈化过程，显著提高了设备利用率和生产良率，实现了半导体刻蚀设备维护技术的突破。
本发明授权一种半导体刻蚀设备及颗粒物在线清理方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体刻蚀设备，其特征在于，包括： 至少一个工艺腔模块，用于在真空环境下对晶圆进行等离子刻蚀处理； 至少一个辅助处理模块，与所述工艺腔模块通过真空传输通道相连； 中央传输机器人，设置于所述工艺腔模块与辅助处理模块之间，用于在真空环境下传输晶圆； 所述辅助处理模块包括： 腔体； 设置于所述腔体内的上电极板和下电极板； 模拟晶圆，由驻极体材料构成，可活动地设置于所述上电极板与下电极板之间； 高压电源，与所述上电极板和下电极板电性连接，用于向电极板施加电压以对所述模拟晶圆进行充电或放电； 其中，所述中央传输机器人可将充电后的所述模拟晶圆从所述辅助处理模块传输至所述工艺腔模块，以通过静电力吸附所述工艺腔模块内的颗粒污染物，以及在静电吸附后将所述模拟晶圆从所述工艺腔模块传输至所述辅助处理模块。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海邦芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：201400 上海市奉贤区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区平霄路358号7号厂房、9号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励