江苏能华微电子科技发展有限公司李亦衡获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏能华微电子科技发展有限公司申请的专利一种氮化镓晶体管及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120916461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511416420.2,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种氮化镓晶体管及制备方法是由李亦衡;王科;夏远洋;王强;魏鸿源;武乐可;朱廷刚设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓晶体管及制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种氮化镓晶体管及制备方法,该氮化镓晶体管包括:复合衬底层及叠层设置在所述复合衬底层上的氮化镓辅助层及功能层;所述复合衬底层包括基底衬底及外延层,所述基底衬底及所述外延层为单晶碳化硅层,所述外延层的电阻率高于所述基底衬底的电阻率。本申请通过由低成本低电阻率碳化硅衬底和外延生长的高电阻率碳化硅层组成的复合碳化硅衬底,使得器件既结合了碳化硅高电阻率、高导热性和高机械强度的性能的基础上,也大大降低了材料成本。即本申请提供的复合碳化硅衬底结构的氮化镓晶体管,比均匀半绝缘碳化硅衬底更具成本效益,并保留了适用于高频和高功率应用的碳化硅的所有理想材料特性。
本发明授权一种氮化镓晶体管及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氮化镓晶体管,其特征在于,包括: 复合衬底层及叠层设置在所述复合衬底层上的氮化镓辅助层及功能层; 所述复合衬底层包括基底衬底及外延层,所述基底衬底及所述外延层为单晶碳化硅层,所述复合衬底层中基底衬底的厚度大于所述外延层的厚度,所述复合衬底层中的单晶碳化硅为3C、4H或6H晶格结构,所述外延层的电阻率高于所述基底衬底的电阻率; 所述外延层包括单层或多层以上的碳化硅层,且多层碳化硅层中的各层碳化硅的电阻率自所述基底衬底到所述辅助层依次增大; 所述外延层中的各碳化硅层的厚度为5~10μm;所述外延层的总厚度为10~40μm。
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