华芯半导体科技有限公司王光辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华芯半导体科技有限公司申请的专利一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120933204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511449836.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备及工艺是由王光辉;陈芸;俞娟;李往林;梁高明;韩浩;田正如;汤秀娟;江蔼庭设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备及工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备及工艺，涉及晶圆清洗技术领域，包括外机体、背板、台板、循环清洗箱、驱动组件和数个夹持组件，所述背板和台板设置在外机体中，所述台板上开设有方槽，所述循环清洗箱位于台板下方，所述驱动组件滑动安装在背板上，数个所述夹持组件安装在驱动组件上，所述夹持组件对晶圆进行装夹，在清洗晶圆之前夹持臂对其边缘进行夹持，再利用楔形推环底部的楔形凸块开始将托臂向下顶推，使得托臂上的软垫离开晶圆片的表面，避免夹持部分影响清洗效果。
本发明授权一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备及工艺在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL芯片晶圆批量移载清洗设备，其特征在于：包括外机体1、背板2、台板3、循环清洗箱、驱动组件和数个夹持组件，所述背板2和台板3设置在外机体1中，所述台板3上开设有方槽，所述循环清洗箱位于台板3下方，所述驱动组件滑动安装在背板2上，数个所述夹持组件安装在驱动组件上，所述夹持组件对晶圆进行装夹； 所述循环清洗箱包括水箱4、出水管5、螺旋管6、数根滤芯管7、主回水管8、副回水管9和水泵10，所述水箱4相对的两侧分别开设有出水孔和回水孔，所述出水孔靠近水箱4底部，所述回水孔靠近水箱4底部，所述出水管5与出水孔相连接，所述主回水管8与回水孔相连接，所述螺旋管6连接在出水管5与主回水管8之间； 所述水泵10连接在出水管5靠近出水孔的一端，每根所述滤芯管7与螺旋管6底部的每个回弯处相切连接，每根滤芯管7中设置有可替换的滤芯，每根滤芯管7远离螺旋管6的一端连接有副回水管9，所述副回水管9远离滤芯管7的一端与出水管5相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区罗塘街道现代科技产业园(群东路88号)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励