买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华芯半导体科技有限公司申请的专利一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置及清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120940339B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511475947.2，技术领域涉及：B08B11/00；该发明授权一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置及清洗工艺是由王光辉;俞娟;王小芹;梁高明;汤秀娟;江蔼庭;田正如设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置及清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置及清洗工艺，涉及晶圆清洗技术领域，所述高温清洗装置包括机体，所述机体内部中间位置处设置有清洗腔，所述清洗腔内设置有工作台，本发明相比于目前的晶圆高温清洗装置设置有固定机构，在清洗过程中，工作人员能够根据需要在不同时间段灵活切换晶圆的固定位置，使晶圆表面原本被吸附组件遮挡的区域得以暴露在高温清洗液中，以使得高温清洗液能够全方位、无死角地覆盖晶圆的上下表面，另外本发明还在喷嘴内部设置若干个马蹄形的导流盘，通过每个导流盘内置的独立加热元件，以及连接管内的测温元件，可实现分段精准控温，避免高温清洗液的温度不达标的现象发生。

本发明授权一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置及清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL芯片晶圆高温清洗装置，其特征在于：所述高温清洗装置包括机体1，所述机体1内部中间位置处设置有清洗腔，所述清洗腔内设置有工作台3，所述机体1上部设置有清洗液供给系统，所述机体1底部设置有清洗液回收系统，所述工作台3上设置有安装座31，所述安装座31上设置有固定机构，固定机构能够对晶圆5不同位置按需固定，所述固定机构正上方设置有上保温板4，所述上保温板4通过第二气缸41与清洗腔顶部相连接，所述上保温板4上设置有喷嘴6； 所述固定机构包括转台32和吸附组件，所述转台32上端设置有若干个安装槽325，每个安装槽325内均设置有一个吸附组件，所述转台32内部设置有下保温板322，所述下保温板322通过第一气缸321与清洗腔底部相连接，所述下保温板322上也设置有喷嘴6； 固定机构上设置若干个独立可控的吸附组件，每个吸附组件均可通过预设程序或人工指令单独控制工作状态，在清洗过程中，工作人员能够根据需要在不同时间段灵活切换晶圆5的固定位置，使晶圆5表面原本被吸附组件遮挡的区域得以暴露在高温清洗液中； 所述固定机构设置有若干个，若干个固定机构均匀设置在安装座31上，每个固定机构正上方均设置有一个上保温板4，每个上保温板4上均设置有一个喷嘴6，每个固定机构的结构以及内部设置均相同，所述安装座31下方设置有旋转电机313，所述旋转电机313通过传动组件驱动若干个固定机构在安装座31上同步旋转； 所述吸附组件包括固定座323和定位座324，所述定位座324设置在固定座323上方，所述定位座324上设置有若干个吸附孔，所述固定座323内部设置有第二三通阀3232和真空泵3234，所述第二三通阀3232一端与真空泵3234进气端相连接，所述第二三通阀3232另一端与清洗腔内环境相连接，所述第二三通阀3232最后一端通过伸缩管3233与定位座324相连接，所述安装槽325侧端设置有伸缩组件，通过伸缩组件控制定位座324升降； 所述伸缩组件包括两个伸缩槽326，两个伸缩槽326分别设置在安装槽325两侧，每个伸缩槽326内均设置有一个弹簧伸缩杆3261，两个弹簧伸缩杆3261均与定位座324相连接，所述固定座323内部还设置有第一三通阀3231，所述第一三通阀3231的一端与真空泵3234出气端相连接，所述第一三通阀3231的另外两端分别与两个伸缩槽326相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区罗塘街道现代科技产业园(群东路88号)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。