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龙图腾网获悉苏州鸿安机械股份有限公司申请的专利一种晶圆传送控制方法及传送控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120977933B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511503260.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆传送控制方法及传送控制系统是由刘大庆;徐丹平;安腾;周军;朱跃设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传送控制方法及传送控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆传送控制方法及传送控制系统，包括：通过传感器网络采集设备状态和位置数据，形成设备状态矩阵；根据矩阵和加工流程确定各工艺节点的可用设备集合；以设备为节点，以传输距离和实时负载为边权构建有向加权图；采用路径搜索算法查找从起点到终点的多条路径，生成成本排序列表；选取成本最低路径作为方案并模拟验证其传输时间，若效率不达标则迭代调整边权重以融入实时负载变化，优化路径排序；最终通过控制器向传送轨道下发最优路径指令。本发明可实现实时感知、动态建图与路径优化，有效提升传送效率、减少延迟，并增强生产线稳定性和设备利用率。

本发明授权一种晶圆传送控制方法及传送控制系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 通过传感器网络采集晶圆生产线中所有加工设备的实时运行状态和位置坐标数据，获取包含设备可用性标识和负载水平的设备状态矩阵； 根据设备状态矩阵结合预设的晶圆工艺流程序列，确定可用于晶圆工艺流程序列的加工设备集合，并映射所述加工设备集合到对应的晶圆工艺流程序列； 以所述加工设备集合中的加工设备作为节点，根据晶圆工艺流程序列间的传输距离和实时负载水平计算边权重，构建用于路径规划的有向加权图；包括：根据晶圆工艺流程序列的先后顺序，确定各加工设备之间的连接关系，建立初步的设备连接拓扑；获取相邻工艺节点间所有可用加工设备的实际物理位置坐标，计算设备间的实际传输路径距离；实时监测各加工设备当前负载状态，获取设备负载水平数据，并结合设备处理能力计算出负载影响系数；将传输路径距离与负载影响系数进行加权融合，生成表征路径传输成本的边权重值；根据设备连接拓扑和计算得到的边权重值，构建完整的有向加权图结构； 对构建的有向加权图进行连通性验证，确保所有工艺节点间存在可达路径；若路径规划图中存在断开的工艺节点，则通过图搜索算法获取备用设备池中的闲置加工设备列表，得到更新后的可用加工设备集合；根据可用加工设备集合，从设备状态矩阵中提取当前闲置加工设备的运行参数，确定待激活设备的优先级排序；通过状态更新机制将设备激活状态从闲置切换为运行，得到更新后的设备状态矩阵；根据更新后的设备状态矩阵，采用深度优先搜索算法重新计算路径规划图中工艺节点间的连通性，判断连通性是否恢复；若连通性恢复，则通过扩展设备集合更新用于路径规划的有向加权图； 采用路径搜索算法在所述有向加权图中搜索从起始节点到目标节点的多条备选路径，并计算各路径的成本，生成路径成本排序列表； 根据所述路径成本排序列表选取成本最低的路径作为当前传送方案，并通过模拟验证所述路径在负载水平下的传输时间；当传输效率未达到预期要求时，迭代调整边权重以纳入实时负载变化，获得优化后的路径成本排序列表； 通过控制器向传送轨道下发所述优化后的路径成本排序列表中首选路径的指令序列，得到晶圆加工传送执行计划；包括：通过控制器向传送轨道下发指令序列，确定轨道控制参数；根据轨道控制参数，生成晶圆传送执行计划；获取执行计划的实时反馈数据，若反馈数据超出预设的阈值，则调整指令序列；根据调整后的指令序列，更新轨道控制参数，生成新的执行计划；通过控制器下发更新后的执行计划，得到最终的晶圆传送执行结果。

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