视睿(杭州)信息科技有限公司赵鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉视睿(杭州)信息科技有限公司申请的专利一种晶圆扫描运动控制方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120998831B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511507983.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆扫描运动控制方法和系统是由赵鹏;别伟成;单书畅;别晓辉设计研发完成，并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆扫描运动控制方法和系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆扫描运动控制方法和系统，属于半导体制造设备技术领域。该方法控制横移轴加速至预设匀速扫描速度后进入晶圆区域扫描，在横移轴减速段同步执行纵移轴换行动作；若换行动作未完成，可在后续横移轴加速段继续执行，确保扫描与换行的时间协同。同时，通过动态调整扫描速度、采集频率、采用S型加减速曲线及实时振动反馈补偿，适配晶圆不同区域特征并保障扫描稳定性。本发明能在保证检测精度的前提下提升扫描效率，适用于高精度晶圆检测设备的运动控制。
本发明授权一种晶圆扫描运动控制方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扫描运动控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 控制横移轴从起始位置加速至预设匀速扫描速度，进入晶圆区域进行匀速扫描； 当横移轴到达晶圆区域外的减速段时，同步控制纵移轴执行向下换行的动作； 若纵移轴完成换行动作所需的总时间大于横移轴在第一行扫描后的减速时间，则在横移轴启动对晶圆第二行的加速段运动时，继续执行纵移轴未完成的换行动作； 对于第二行至倒数第二行的每一行，横移轴经加速段后进入匀速段进行扫描，其中加速段需同步完成上一行未完成的换行动作； 对于第二行至倒数第二行的每一行，当横移轴到达该行的减速段时，同步执行横移轴减速与纵移轴换行动作，直至完成该行的扫描与换行； 当横移轴对最后一行执行扫描时，经加速段至匀速段完成最后一行的扫描后，进入减速段时仅执行减速动作，不进行换行。
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