河北光兴半导体技术有限公司周发忠获国家专利权
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龙图腾网获悉河北光兴半导体技术有限公司申请的专利硅片承载盒和硅片清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223789039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422554792.9,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型硅片承载盒和硅片清洗设备是由周发忠;贾钊;窦志珍;胡恒广设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片承载盒和硅片清洗设备在说明书摘要公布了:本公开涉及一种硅片承载盒和硅片清洗设备,该硅片承载盒包括顶部开口的盒体,盒体相对的两个侧壁设有多个隔断件,多个隔断件将侧壁围成多个用于容纳硅片的容纳槽,多个隔断件自盒体顶部朝向盒体底部倾斜延伸,以形成多个相对于侧壁的延伸方向倾斜的容纳槽,容纳槽的宽度大于硅片的厚度,该硅片承载盒可以在承载并清洗硅片时防止硅片正面的边缘贴合于承载盒的凹槽,以减少硅片边缘位置外观不良的情况出现。
本实用新型硅片承载盒和硅片清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种硅片承载盒,包括顶部开口的盒体,其特征在于,所述盒体相对的两个侧壁设有多个隔断件,多个所述隔断件将所述侧壁围成多个用于容纳硅片的容纳槽,多个所述隔断件自所述盒体顶部朝向所述盒体底部倾斜延伸,以形成多个相对于所述侧壁的延伸方向倾斜的所述容纳槽,所述容纳槽的宽度大于所述硅片的厚度。
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