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龙图腾网获悉杭州慧翔电液技术开发有限公司申请的专利阀门及真空设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223794690U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520464510.8，技术领域涉及：F16K3/18；该实用新型阀门及真空设备是由张瀛;朱天天;孙周武;潘龙胜设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本阀门及真空设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了阀门及真空设备，阀门包括阀板、阀杆、纵向驱动组件和横向驱动组件，阀杆一端连接于阀板以使阀板动作，阀板具有贴合密封面并遮挡出口以封闭反应腔室的关闭状态、沿第二方向远离密封面的过渡状态及沿第一方向避让出口并脱离密封面的打开状态；阀杆部分连接于横向驱动组件，纵向驱动组件驱动横向驱动组件和阀杆同时沿第一方向往复移动，横向驱动组件驱动阀杆沿第二方向往复移动；第二方向和密封面呈夹角设置，第一方向平行于密封面，阀板过渡状态处于关闭状态和打开状态之间。本实用新型的阀门避免阀板运动过程中和真空设备产生摩擦，降低阀门的生产成本和装配难度，且提升真空设备的工艺性能。

本实用新型阀门及真空设备在权利要求书中公布了：1.阀门，包括阀板11，所述阀板11用于封闭反应腔室的出口200，所述反应腔室具有密封面100，所述出口200开设于所述密封面100，其特征在于，所述阀门包括阀杆12、纵向驱动组件2和横向驱动组件3，所述阀杆12的一端连接于所述阀板11以使所述阀板11动作，所述阀板11具有贴合所述密封面100并遮挡所述出口200以封闭所述反应腔室的关闭状态、沿第二方向远离所述密封面100的过渡状态以及沿第一方向避让所述出口200并脱离所述密封面100的打开状态；所述阀杆12远离所述阀板11的部分连接于所述横向驱动组件3，所述纵向驱动组件2用于驱动所述横向驱动组件3和所述阀杆12同时沿第一方向往复移动，所述横向驱动组件3用于驱动所述阀杆12沿第二方向往复移动；其中，所述第二方向和所述密封面100呈夹角设置，所述第一方向平行于所述密封面100，所述阀板11的过渡状态处于关闭状态和打开状态之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州慧翔电液技术开发有限公司，其通讯地址为：311103 浙江省杭州市临平区杭州余杭经济技术开发区顺达路500号1幢204室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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