浙江创芯集成电路有限公司黄杰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆的干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520236406.3，技术领域涉及：F26B5/00；该实用新型晶圆的干燥装置是由黄杰;陈少伟;张一帆;杨小龙;张耀轩设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的干燥装置在说明书摘要公布了：一种晶圆的干燥装置，包括：载台，用于承载所述晶圆；第一干燥单元，用于对所述晶圆喷洒干燥液；第二干燥单元，用于去除所述干燥液以干燥晶圆，所述第二干燥单元包含一个或多个气体喷嘴，至少一个气体喷嘴的延伸方向与所述晶圆表面的夹角呈0,90°；第一驱动单元，用于驱动所述载台带动所述晶圆转动。本实用新型实施例，有利于提高晶圆的干燥效果。
本实用新型晶圆的干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的干燥装置，其特征在于，包括： 载台，用于承载所述晶圆； 第一干燥单元，用于对所述晶圆喷洒干燥液； 第二干燥单元，用于去除所述干燥液以干燥晶圆，所述第二干燥单元包含一个或多个气体喷嘴，至少一个气体喷嘴的延伸方向与所述晶圆表面的夹角呈0,90°； 第一驱动单元，用于驱动所述载台带动所述晶圆转动。
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