北京中科同志科技股份有限公司张延忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科同志科技股份有限公司申请的专利一种在线真空烧结炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795780U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520102004.4，技术领域涉及：F27B21/08；该实用新型一种在线真空烧结炉是由张延忠;赵永先;邓燕设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在线真空烧结炉在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体芯片加工设备技术领域，提供一种在线真空烧结炉。该在线真空烧结炉，包括：常温还原工位、预热还原工位、还原工位、焊接工位、冷却工位和搬运机构。预热还原工位的前一工位为常温还原工位，预热还原工位包括预热还原腔室；还原工位包括第一腔室、第二腔室、第一移动装置、第一进气管路和第一抽气管路，第一移动装置与第二腔室连接，带动第二腔室运动以使第二腔室和预热还原腔室配合形成为还原工件提供真空环境或还原性气氛环境的第一密闭空间，第一进气管路和第一抽气管路分别与第一密闭空间连。实现常温还原工位常温还原，防止工件在常温还原工位被氧化，提高了工件的加工质量。
本实用新型一种在线真空烧结炉在权利要求书中公布了：1.一种在线真空烧结炉，其特征在于，包括： 常温还原工位，用于对工件常温还原，所述常温还原工位的出口端设置隔热机构； 预热还原工位，用于对工件进行预热还原，所述预热还原工位包括预热还原腔室，所述预热还原工位的进口端设置所述隔热机构； 还原工位，用于对预热还原后的工件进行还原，所述还原工位包括第一腔室、第二腔室、第一移动装置、第一进气管路和第一抽气管路，所述第一腔室设于所述第二腔室的外围，所述第一移动装置与所述第二腔室连接，带动所述第二腔室运动以使所述第二腔室和所述预热还原腔室配合形成为还原工件提供真空环境或还原性气氛环境的第一密闭空间，所述第一进气管路和所述第一抽气管路分别与所述第一密闭空间连通； 焊接工位，用于对还原后的工件进行焊接； 冷却工位，用于对焊接后的工件进行冷却； 搬运机构，用于搬运工件以使工件在所述常温还原工位、所述预热还原工位、所述还原工位、所述焊接工位和所述冷却工位之间流转。
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