石金(西安)应用材料有限责任公司韩波获国家专利权
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龙图腾网获悉石金(西安)应用材料有限责任公司申请的专利一种管式炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795801U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520337330.3，技术领域涉及：F27D11/02；该实用新型一种管式炉是由韩波;李文红;李朋恩;韩士伟;余骊锦设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种管式炉在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种管式炉，包括：保温系统、加热体、直流控制单元、射频发生器和石英炉管；加热体安装于石英炉管内部，直流控制单元控制加热体的加热功率；保温系统设置在石英炉管外侧，用于防止热量散失。通过本实用新型实施例提供的管式炉，通过设置在石英炉管内部的加热体直接对硅片进行加热，能量直接作用于硅片，避免了大量能源逸散到炉管外侧，提高了加热效率，进而缩短了工艺加热时间，提高了设备产能。
本实用新型一种管式炉在权利要求书中公布了：1.一种管式炉，其特征在于，包括：保温系统1、加热体2、直流控制单元3、射频发生器4和石英炉管5； 所述加热体2安装于所述石英炉管5内部，所述直流控制单元3控制所述加热体2的加热功率； 所述保温系统1设置在所述石英炉管5外侧，用于防止热量散失。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人石金(西安)应用材料有限责任公司，其通讯地址为：713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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