江苏天芯微半导体设备有限公司罗建获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795985U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520097455.3，技术领域涉及：G01B11/14；该实用新型一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置是由罗建设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置，所述腔室内设有基盘和基准物，位置检测装置包括支撑结构、运动结构和检测机构，其中，所述支撑结构包括由上至下依次堆叠设置的上盖板、下盖板和安装基座，所述上盖板设置于下盖板的上表面，下盖板设置于安装基座的上表面；所述上盖板、下盖板和安装基座同心设置；所述运动结构包括导轨和沿导轨滑动的滑块，其中，所述导轨安装于下盖板的上表面，且导轨沿上盖板的边缘设置；所述检测机构与滑块固定连接，所述检测机构的测量区域至少对准基盘与基准物之间的缝隙。本实用新型能够准确且方便的检测出基盘和基准物的相对位置。
本实用新型一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备腔室内基盘的位置检测装置，所述腔室内设有基盘和基准物，其特征在于，位置检测装置包括支撑结构、运动结构和检测机构，其中， 所述支撑结构包括由上至下依次堆叠设置的上盖板、下盖板和安装基座，所述上盖板为圆形板，上盖板设置于下盖板的上表面，下盖板设置于安装基座的上表面；所述上盖板、下盖板和安装基座同心设置； 所述运动结构包括导轨和沿导轨滑动的滑块，其中，所述导轨安装于下盖板的上表面，且导轨沿上盖板的边缘设置； 所述检测机构与滑块固定连接，所述检测机构的测量区域至少对准基盘与基准物之间的缝隙。
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