安徽易芯半导体有限公司马四海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽易芯半导体有限公司申请的专利一种晶圆切片平整度视觉检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795991U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520480217.0，技术领域涉及：G01B11/30；该实用新型一种晶圆切片平整度视觉检测装置是由马四海;马鸿泰;马先松;马青;丁磊设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切片平整度视觉检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种晶圆切片平整度视觉检测装置，包括机柜，所述机柜顶部设置有半导体晶圆托盘，所述半导体晶圆托盘相邻侧设置有纵向滑轨，所述纵向滑轨上由上至下依次设置有两组滑座，且两组滑座分别安装有纵向视觉相机座以及纵向滤光片架，并与纵向滑轨滑动连接，所述纵向视觉相机座上安装有纵向视觉相机。设置的纵向滑轨和横向滑轨，配合纵向视觉相机和横向视觉相机，能够实现对晶圆切片在纵向和横向上的全面平整度检测，提高了检测的准确性和效率。同时，通过手动螺杆模组一和手动螺杆模组二的调整，可以灵活地改变相机的位置，实现对晶圆切片不同位置的精准检测，进一步提升了检测的精确度。
本实用新型一种晶圆切片平整度视觉检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切片平整度视觉检测装置，其特征在于，包括机柜1，所述机柜1顶部设置有半导体晶圆托盘4，所述半导体晶圆托盘4相邻侧设置有纵向滑轨21，所述纵向滑轨21上由上至下依次设置有两组滑座，且两组滑座分别安装有纵向视觉相机座24以及纵向滤光片架22，并与纵向滑轨21滑动连接，所述纵向视觉相机座24上安装有纵向视觉相机25，所述纵向滤光片架22上安装有纵向滤光片23，所述半导体晶圆托盘4相邻侧设置有横向滑轨31，所述横向滑轨31上滑动连接设置有两组滑座，两组滑座上分别设置有手动螺杆模组一32、手动螺杆模组二33，所述手动螺杆模组一32上设置有移动端，且移动端连接有横向视觉相机座34，所述横向视觉相机座34上安装有横向视觉相机35，所述手动螺杆模组二33上设置有移动端，且移动端连接有横向滤光片架36，所述横向滤光片架36上安装有横向滤光片37。
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