光芯微纳技术(深圳)有限公司夏禹获国家专利权
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龙图腾网获悉光芯微纳技术(深圳)有限公司申请的专利高精度膜厚测量设备和系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223795997U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520057837.3，技术领域涉及：G01B17/02；该实用新型高精度膜厚测量设备和系统是由夏禹设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本高精度膜厚测量设备和系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种高精度膜厚测量设备和系统，该高精度膜厚测量设备包括：晶控探头、膜厚仪、第一腔体和真空腔体；第一腔体内设置振荡包且填充空气；真空腔体内至少包括第一腔体和晶控探头；振荡包置于所述第一腔体内，且晶控探头安装在第一腔体的第一侧面上；晶控探头和振荡包之间焊接连接；振荡包连接膜厚仪；晶控探头，用于采集待测材料的测量信号，测量信号为模拟信号；振荡包，用于将测量信号转化为数字信号；膜厚仪，用于根据数字信号确定待测材料的膜厚参数。该高精度膜厚测量装置可通过设置振荡包和晶控探头的连接方式来提高膜厚测量的准确性，以及通过调整振荡包与膜厚仪之间的位置结构来提高膜厚测量的精度。
本实用新型高精度膜厚测量设备和系统在权利要求书中公布了：1.一种高精度膜厚测量设备，其特征在于，所述高精度膜厚测量设备包括：晶控探头、膜厚仪、第一腔体和真空腔体；所述第一腔体内设置振荡包且填充空气；所述真空腔体内至少包括所述第一腔体和所述晶控探头； 所述振荡包置于所述第一腔体内，且所述晶控探头安装在所述第一腔体的第一侧面上；所述晶控探头和所述振荡包之间焊接连接；所述振荡包连接所述膜厚仪； 所述晶控探头，用于采集待测材料的测量信号，所述测量信号为模拟信号； 所述振荡包，用于将所述测量信号转化为数字信号； 所述膜厚仪，用于根据所述数字信号确定所述待测材料的膜厚参数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人光芯微纳技术(深圳)有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区福瑞路1号立新湖创意园1号楼307-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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