歌尔微电子股份有限公司汤春晖获国家专利权
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龙图腾网获悉歌尔微电子股份有限公司申请的专利MEMS芯片及传感器模组获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223796435U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423113222.2，技术领域涉及：G01N21/17；该实用新型MEMS芯片及传感器模组是由汤春晖;刘波设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS芯片及传感器模组在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种MEMS芯片及传感器模组，其中的MEMS芯片包括支撑基座以及设置在所述支撑基座上的振膜和背极板，所述振膜与所述背极板形成电容器结构；其中，在所述振膜远离所述背极板的一侧设置有疏水结构；所述疏水结构包括设置在所述振膜上的凸起点以及包裹所述凸起点的表面设置的疏水层；所述振膜用于采集进入所述电容器结构内的信号。利用上述实用新型能够使得芯片具备防水防尘及自清洁功能。
本实用新型MEMS芯片及传感器模组在权利要求书中公布了：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括支撑基座以及设置在所述支撑基座上的振膜和背极板，所述振膜与所述背极板形成电容器结构；其中， 在所述振膜远离所述背极板的一侧设置有疏水结构； 所述疏水结构包括设置在所述振膜上的凸起点以及包裹所述凸起点的表面设置的疏水层； 所述振膜用于采集进入所述电容器结构内的信号。
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