东莞市诺丽半导体技术有限公司朱晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市诺丽半导体技术有限公司申请的专利晶圆转盘旋转调节装置及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223796574U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423098208.X，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型晶圆转盘旋转调节装置及设备是由朱晓东;张桂设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆转盘旋转调节装置及设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆转盘旋转调节装置及设备，晶圆转盘旋转调节装置包括安装基板、驱动机构、X轴滑动组件、Y轴滑动组件、旋转组件和具有固定旋转中心的承载转盘；驱动机构安装于安装基板，其输出端连接X轴滑动组件；X轴滑动组件被限制为沿X轴方向可滑动地安装于安装基板；Y轴滑动组件被限制为沿Y轴方向可滑动地安装于X轴滑动组件；旋转组件的外旋转部同轴套设于内旋转部外，两者能相对自由旋转，外旋转部和承载转盘固定连接，内旋转部固定连接至Y轴滑动组件；驱动机构驱动X轴滑动组件沿X轴方向做直线运动时，带动承载转盘旋转。本实用新型有利于简化旋转控制的过程，便于装配和维护，有利于提升调节精度，使旋转过程更流畅。
本实用新型晶圆转盘旋转调节装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转盘旋转调节装置，其特征在于，包括安装基板、驱动机构、X轴滑动组件、Y轴滑动组件、旋转组件和承载转盘，所述承载转盘具有固定的旋转中心； 所述驱动机构安装于所述安装基板上，所述驱动机构的输出端连接所述X轴滑动组件； 所述X轴滑动组件被限制为沿X轴方向可滑动地安装于所述安装基板上； 所述Y轴滑动组件被限制为沿Y轴方向可滑动地安装于所述X轴滑动组件； 所述旋转组件包括内旋转部和外旋转部，所述外旋转部同轴套设于所述内旋转部外侧，所述外旋转部和所述内旋转部能够相对自由旋转，所述外旋转部和所述承载转盘固定连接，所述内旋转部固定连接至所述Y轴滑动组件； 所述驱动机构驱动所述X轴滑动组件沿X轴方向做直线运动时，带动所述承载转盘旋转。
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