国芯半导体(仪征)有限公司顾金海获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片电阻率测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223796610U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520298290.6,技术领域涉及:G01R27/02;该实用新型一种半导体硅外延片电阻率测试装置是由顾金海;裴勇康设计研发完成,并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片电阻率测试装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体硅外延片电阻率测试装置,涉及半导体硅外延片电阻率测试领域,包括测试安装台,测试安装台上方设有自动测试安装组件,自动测试安装组件一侧设有自动进出料组件,自动进出料组件一侧设有物料输送组件,本实用新型对现有技术做出了改进,在实际使用中,通过自动测试安装组件,可以自动对半导体硅外延片电阻率进行自动测试,解决了传统的测试方法和装置逐渐暴露出诸多问题,例如整个测试过程需要手动调整探针位置,操作繁琐,测试效率较低的问题。
本实用新型一种半导体硅外延片电阻率测试装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅外延片电阻率测试装置,其特征在于,包括测试安装台1,所述测试安装台1上方设有自动测试安装组件2,所述自动测试安装组件2一侧设有自动进出料组件3,所述自动进出料组件3一侧设有物料输送组件4; 所述自动测试安装组件2包括物料进入板201,所述物料进入板201对称安装于所述测试安装台1上方,所述物料进入板201一侧设有挡料触发板202,所述挡料触发板202内部安装有触发开关203,所述挡料触发板202上方连接有升降电推杆204,所述升降电推杆204外围连接有推杆固定架205,所述推杆固定架205与所述测试安装台1相连接,所述推杆固定架205一侧设有检测安装架207,所述检测安装架207与所述测试安装台1相连接,所述检测安装架207内部安装有检测电推杆208,所述检测电推杆208输出端连接有检测安装板209,所述检测安装板209下方安装有检测探针206。
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