杭州中安电子股份有限公司左小波获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州中安电子股份有限公司申请的专利一种用于晶圆老化的测试台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223796648U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520031456.8,技术领域涉及:G01R31/28;该实用新型一种用于晶圆老化的测试台是由左小波;周玉军;卜建明;贺庭玉;廖剑;柴俊标;余亮;卜予城设计研发完成,并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆老化的测试台在说明书摘要公布了:一种用于晶圆老化的测试台,涉及晶圆测试设备技术领域,用于对晶圆老化测试夹具内的晶圆进行老化测试,测试台包括测试驱动板模组、升降模组、平移模组和承载台,测试驱动板模组包括驱动板底板、驱动板组件、驱动转接探针板,升降模组包括测试台底板及其两侧的升降气缸组件,平移模组包括平移底板及其底部的平移气缸组件,承载台包括夹具载板及夹具垫板。本实用新型的设备体积小,使得占用空间小,另外设备结构模块化设计,便于测试人员操作,提高测试效率,实现了大批量测试。
本实用新型一种用于晶圆老化的测试台在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆老化的测试台,用于对晶圆老化测试夹具100内的晶圆进行老化测试,其特征在于:测试台200包括测试驱动板模组210、升降模组220、平移模组230和承载台240; 所述测试驱动板模组210包括驱动板底板211、固定在驱动板底板211顶面的驱动板组件212和固定在驱动板组件212底面的驱动转接探针板213,驱动板底板211中间设有圆孔,驱动转接探针板213位于圆孔内且其上设有呈阵列分布的探针; 所述升降模组220包括测试台底板221及其两侧的升降气缸组件222,升降气缸组件222活动端设有升降安装板223,驱动板底板211两侧与升降安装板223固定; 所述平移模组230包括平移底板231及其底部的平移气缸组件232,平移底板231内端固定于测试台底板221中间; 所述承载台240包括夹具载板241及其顶面固定的夹具垫板242,夹具载板241底面与平移气缸组件232的活动端固定,夹具垫板242前侧的夹具载板241上设有若干夹具前挡块243,后侧的夹具载板241上设有若干夹具后挡块244。
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