合肥芯碁微电子装备股份有限公司于成信获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种双台面曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223796823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520171673.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种双台面曝光机是由于成信设计研发完成，并于2025-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双台面曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双台面曝光机，涉及曝光机技术领域。具体包括平台、载台件、曝光模块以及对准模块，平台包括曝光区域和分布在曝光区域两侧的转换区域；载台件至少包括设置在对应转换区域的两个载台，载台能够从对应转换区域和曝光区域往复移动；曝光模块设置在曝光区域，其用于对移动至曝光区域的载台上的晶圆曝光；对准模块设置在转换区域，其用于对位载台上的晶圆。两侧载台上的晶圆能够在上下料、对位和曝光操作之间无缝切换，充分发挥了双台面设计的优势，显著提升了整体工作效率，无需对载台上的晶圆进行高度调整，根本上保证晶圆的曝光精度。
本实用新型一种双台面曝光机在权利要求书中公布了：1.一种双台面曝光机，其特征在于，包括： 平台1，其包括曝光区域14和分布在所述曝光区域14两侧的转换区域13； 载台件4，其至少包括设置在对应所述转换区域13的两个载台，所述载台能够从对应所述转换区域13和所述曝光区域14往复移动； 曝光模块2，设置在所述曝光区域14，其用于对移动至所述曝光区域14的所述载台上的晶圆曝光；以及 对准模块3，设置在所述转换区域13，其用于对位所述载台上的晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励