广东依顿电子科技股份有限公司周威获国家专利权
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龙图腾网获悉广东依顿电子科技股份有限公司申请的专利一种平行光曝光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223796825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520449794.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种平行光曝光系统是由周威;蒋茂胜;唐缨;易守彬;陈绪东;吴祖荣设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平行光曝光系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种平行光曝光系统，包括沿光路依次设置的汞灯光源、光调制组件和光板，所述光调制组件包括：套设于所述汞灯光源外周的椭圆反射镜、倾斜设置于所述椭圆反射镜上方的第一平面反射镜、设于所述第一平面反射镜的反射光路中的复眼匀光器、设于所述复眼匀光器的出射光路中的第二平面反射镜、以及设于第二平面反射镜的反射光路中且位于所述光板上方的场镜反射镜。本实用新型通过汞灯光源和光调制组件的作用，提高了光源强度的同时确保光源能够平行且均匀稳定的照射在光板上，结构设计紧凑且可以有效提高光能的利用率，从而提高线路板的曝光效果。
本实用新型一种平行光曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种平行光曝光系统，其特征在于，包括沿光路依次设置的汞灯光源、光调制组件和光板，所述光调制组件包括：套设于所述汞灯光源外周的椭圆反射镜、倾斜设置于所述椭圆反射镜上方的第一平面反射镜、设于所述第一平面反射镜的反射光路中的复眼匀光器、设于所述复眼匀光器的出射光路中的第二平面反射镜、以及设于第二平面反射镜的反射光路中且位于所述光板上方的场镜反射镜。
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