长江存储科技有限责任公司刘武获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆键合对准测量系统、方法及晶圆承载台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111128830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911419472.X，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆键合对准测量系统、方法及晶圆承载台是由刘武设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合对准测量系统、方法及晶圆承载台在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆键合对准测量系统、方法及晶圆承载台。所述晶圆承载台包括框架和多个承载部，所述框架为环形且内径大于或等于所要承载的晶圆的直径，所述多个承载部分散地布置并凸出于所述框架的内缘。本发明的晶圆承载台中，承载部只是分散地布置在框架内缘，基本上不会遮挡穿过晶圆边缘的用于检测对准精度的光。因此晶圆键合对准测量系统可以更准确地获得晶圆对准精度。
本发明授权晶圆键合对准测量系统、方法及晶圆承载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载台，其特征在于，所述晶圆承载台用于晶圆键合对准测量系统中，包括框架和多个承载部，所述框架中间为镂空，所述框架为具有内缘的环形且内径大于或等于所要承载的晶圆的直径，所述多个承载部分散地布置在所述框架的内缘上，并在所述框架的径向上凸出于所述框架的内缘，所述承载部上设有若干供弹性垫插入的插孔，所述框架内侧具有环形端面，每个所述承载部的上表面与所述环形端面相邻且平齐，其中，所述多个承载部用于与所述晶圆的正面或背面接触，以承载所述晶圆的边缘，其中，所述晶圆仅与所述多个承载部接触，所述多个承载部从所述内缘凸伸的长度为6mm-7mm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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