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广东思沃精密机械有限公司王建勋获国家专利权

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龙图腾网获悉广东思沃精密机械有限公司申请的专利放膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111716697B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910203996.9,技术领域涉及:B29C63/02;该发明授权放膜装置是由王建勋;谢军设计研发完成,并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

放膜装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种放膜装置,包括送膜滑动座、分膜组件、以及分膜升降驱动组件;分膜升降驱动组件包括分膜连接杆、分膜固定板、分膜升降杆、分膜升降板、以及设于分膜固定板的分膜升降驱动件;分膜组件与分膜升降杆远离分膜升降板的一端相连,分膜升降板与分膜升降驱动件的输出端相连。分膜升降驱动件带动分膜升降板沿分膜升降杆的轴线方向做上升运动,与分膜升降杆的另一端相连的分膜组件随着分膜升降板做同步的上升运动,进而带动分膜组件整体做上升运动,进而将分膜组件上升至一定的高度,使得被分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动,避免了干膜移动时触碰晶圆进而使得晶圆偏离贴膜位置的情况发生。

本发明授权放膜装置在权利要求书中公布了:1.放膜装置,其特征在于,包括送膜滑动座、用于分离干膜与底膜的分膜组件、以及设于所述送膜滑动座且用于带动所述分膜组件沿竖直方向运动的分膜升降驱动组件;所述分膜升降驱动组件包括与所述送膜滑动座相连的分膜连接杆、与所述分膜连接杆相连的分膜固定板、贯穿所述送膜滑动座且与所述送膜滑动座滑动连接的分膜升降杆、与所述分膜升降杆相连的分膜升降板、以及设于所述分膜固定板的分膜升降驱动件;所述分膜组件与所述分膜升降杆远离所述分膜升降板的一端相连,所述分膜升降板与所述分膜升降驱动件的输出端相连;所述分膜升降驱动件带动所述分膜升降板沿所述分膜升降杆的轴线方向做上升运动,与所述分膜升降杆的另一端相连的所述分膜组件随着所述分膜升降板做同步的上升运动,带动所述分膜组件整体做上升运动,使得被所述分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表面的一定距离移动;所述送膜滑动座开设有第一送膜让位孔,所述分膜升降杆贯穿所述第一送膜让位孔并与所述分膜组件相连;所述分膜组件包括分膜框体、与所述分膜框体转动连接的送膜张紧辊、以及与所述分膜框体转动连接的分膜辊。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东思沃精密机械有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖高新科技产业园区研发一路1号A栋一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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