长鑫存储技术有限公司陆天辰获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111999622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910389624.X,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权测试装置是由陆天辰设计研发完成,并于2019-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试装置在说明书摘要公布了:本发明实施例涉及测试技术领域,公开了一种测试装置,包括:测试板、设置于测试板上的可移动侧体;测试板与可移动侧体围成容纳槽;可移动侧体可移动以调整容纳槽的底面尺寸,且调整后的容纳槽的底面露出的测试板用于承载待测半导体结构。使得在测试不同尺寸大小的芯片时,节约时间和人力。
本发明授权测试装置在权利要求书中公布了:1.一种测试装置,其特征在于,包括: 测试板、设置于所述测试板上的可移动侧体,以及设置于所述可移动侧体上的量脚,所述量脚用于测量待测半导体结构的尺寸大小; 所述测试板与所述可移动侧体围成底面呈四边形的容纳槽;所述可移动侧体可移动以调整所述容纳槽的底面尺寸,且调整后的所述容纳槽的底面露出的所述测试板用于承载所述待测半导体结构;其中, 所述可移动侧体包括:相对设置的第一侧体和第二侧体,以及相对设置的第三侧体和第四侧体,所述第一侧体和第三侧体相连,所述第二侧体和所述第四侧体相连; 所述可移动侧体朝向所述容纳槽的表面为斜面,且所述斜面与所述容纳槽底面的夹角大于90°; 所述待测半导体结构包括:呈矩形的引脚区域; 所述量脚用于测量所述矩形引脚区域的四条边与所述待测半导体结构的四条边的垂直距离;所述可移动侧体根据测得的所述垂直距离移动以改变所述容纳槽的底面尺寸。
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