ASML荷兰有限公司王勇新获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于显微术的半导体带电粒子检测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112243531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980038632.8，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权用于显微术的半导体带电粒子检测器是由王勇新;董仲华;赖瑞霖;金井建一设计研发完成，并于2019-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于显微术的半导体带电粒子检测器在说明书摘要公布了：一种检测器可以被设置有感测元件阵列。所述检测器可以包括：包括所述阵列的半导体衬底，以及被配置为对入射到所述检测器上的带电粒子的数目进行计数的电路。所述检测器的所述电路可以被配置为处理来自所述多个感测元件的输出，并且响应于所述阵列中的感测元件上的带电粒子到达事件来增加计数器。可以使用各种计数模式。计数可以基于能量范围。可以对处于一定的能量范围内的带电粒子的数目进行计数，并且当在感测元件中遇到溢出时，可以设置溢出标记。所述电路可以被配置为确定在每个感测元件处发生的相应带电粒子到达事件的时间戳。可以基于用于实现带电粒子计数的标准来确定所述感测元件的大小。
本发明授权用于显微术的半导体带电粒子检测器在权利要求书中公布了：1.一种用于带电粒子装置的检测器，包括： 多个传感器元件，所述传感器元件中的每个传感器元件具有对应电路，所述对应电路包括事件检测器电路以及像素计数缓冲器电路，所述事件检测器电路被配置为基于由对应传感器元件响应于电子撞击所述对应传感器元件而生成的电流脉冲来检测电子事件，所述像素计数缓冲器电路被配置为对电子事件计数，所述多个传感器元件中的每个传感器元件包括被配置为以线性模式操作的二极管；以及 第二电路，被配置为对在预定时间段期间由所述多个传感器元件的每个传感器元件的所述像素计数缓冲器电路对所述电子事件所计数的数目求和。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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