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东京毅力科创株式会社丰卷俊明获国家专利权

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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利输送装置的示教方法和处理系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113257728B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110141916.9,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权输送装置的示教方法和处理系统是由丰卷俊明设计研发完成,并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

输送装置的示教方法和处理系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种输送装置的示教方法。本发明的一个方式的输送装置的示教方法是具有保持基片的基片保持部和设置于该基片保持部的第1检测部的输送装置的示教方法,其包括:一边使上述基片保持部在铅垂方向上移动,一边用上述第1检测部对检测物体的高度位置进行检测,并基于所检测出的上述检测物体的高度位置来设定上述基片保持部的铅垂方向上的示教位置的步骤;和一边使上述基片保持部在水平方向上移动,一边基于设置在与上述输送装置不同的位置的第2检测部检测出上述基片保持部时的上述基片保持部的水平位置,来设定上述基片保持部的水平方向上的示教位置的步骤。根据本发明,能够缩短输送装置的示教操作所需的时间。

本发明授权输送装置的示教方法和处理系统在权利要求书中公布了:1.一种输送装置的示教方法,所述输送装置具有保持基片的基片保持部和设置于该基片保持部的第1检测部,所述输送装置的示教方法的特征在于,包括: 一边使所述基片保持部在铅垂方向上移动,一边用所述第1检测部对检测物体的高度位置进行检测,并基于所检测出的所述检测物体的高度位置来设定所述基片保持部的铅垂方向上的示教位置的步骤; 一边使所述基片保持部在水平方向上移动,一边基于设置在与所述输送装置不同的位置的第2检测部检测出所述基片保持部时的所述基片保持部的水平位置,来设定所述基片保持部的水平方向上的示教位置的步骤;和 在设定所述基片保持部的铅垂方向上的示教位置的步骤之后,修正所述铅垂方向上的示教位置的步骤, 所述输送装置还具有:吸引被载置于所述基片保持部的上表面的所述基片来对该基片进行吸附保持的吸引孔;和检测与所述吸引孔连通的吸引路的压力的压力检测部, 修正所述铅垂方向上的示教位置的步骤包括: 使所述基片保持部移动到所述基片的下方的步骤; 在对所述吸引路进行吸引的状态下,一边检测所述吸引路的压力,一边使所述基片保持部从所述基片的下方向上方移动的步骤; 基于所述吸引路的压力,判断所述基片保持部是否与所述基片接触的步骤;和 将判断为所述基片保持部与所述基片接触时的所述基片保持部的位置作为所述基片保持部的铅垂方向上的示教位置进行修正的步骤。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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