东京毅力科创株式会社山岸幸司获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113394069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110238997.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由山岸幸司;池田宽;近藤宽之设计研发完成，并于2021-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够在电极外周部的周向生成高均匀性等离子体的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括腔室、第1电极、高频电源、供电棒、板状部件和电介质体。第1电极为与腔室内相对的电极。高频电源对第1电极供给高频电力。供电棒对第1电极的与腔室内相对的面的相反一侧的面的中心高频供供电力。板状部件是与第1电极的与腔室内相对的面相反一侧的面平行地设置的、接地的导电性的板状部件。电介质体连接第1电极与板状部件之间，呈相对于第1电极的中心形成旋转对称的形状。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括： 腔室； 与所述腔室内相对的第1电极； 对所述第1电极供给高频电力的高频电源； 对所述第1电极的与所述腔室内相对的面相反一侧的面的中心供给所述高频电力的供电棒； 与所述第1电极的与所述腔室内相对的面相反一侧的面平行地设置的、接地的导电性的板状部件；和 连接所述第1电极与所述板状部件之间，相对于所述第1电极的中心形成为旋转对称的形状的电介质体， 所述电介质体具有连接设置于所述第1电极的内部的空间和与所述板状部件的外侧连接的配管的贯通孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励