京瓷帝基廷公司V·萨雷拉获国家专利权
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龙图腾网获悉京瓷帝基廷公司申请的专利微机电谐振器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113692707B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080028930.1,技术领域涉及:H03H9/205;该发明授权微机电谐振器是由V·萨雷拉;A·贾克拉;A·奥加设计研发完成,并于2020-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电谐振器在说明书摘要公布了:一种微机电MEMS谐振器,包括弹簧质量系统,该弹簧质量系统具有第一重量部分M1、第二重量部分M2、以及在重量部分之间的中心弹簧部分SP。
本发明授权微机电谐振器在权利要求书中公布了:1.一种微机电谐振器,包括: 弹簧质量系统,所述弹簧质量系统具有 第一重量部分, 第二重量部分,以及 中心弹簧部分,所述中心弹簧部分在所述重量部分之间,所述谐振器具有用于致动所述谐振器的压电层, 其中所述谐振器包括被掺杂到至少21019cm-3的平均杂质浓度的硅体,并且其中所述中心弹簧部分的材料部分沿垂直于y轴的x轴定向,所述谐振器被配置成在所述y轴的方向上振动,其中所述x轴沿100硅晶体方向延伸或与所述100硅晶体方向偏离小于5度。
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