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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851406B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110645360.7，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质是由谷和宪;小林康信设计研发完成，并于2021-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，关于从大型基板切出的基板的对准，可抑制由切出部位的不同导致的对准精度、时间的偏差。所述对准装置具备：基板支承部件，支承将大型基板分割而得到的任一基板的周缘部；接离部件，使基板及掩模沿重力方向接近及分离；测量部件，测量基板与掩模的位置偏移量；及位置调整部件，调整基板与掩模的相对位置，在位置偏移量在容许范围内的情况下使基板与掩模相互重合，其中，对准装置具备取得基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息的取得部件，在测量位置偏移量之后，当在使基板与掩模分离的状态下调整相对位置时，基于位置偏移量和基板信息控制位置调整部件。

本发明授权对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，所述对准装置具备： 基板支承部件，所述基板支承部件对将大型基板分割而得到的多个基板中的任一个基板的周缘部进行支承； 掩模支承部件，所述掩模支承部件支承掩模； 接离部件，所述接离部件使由所述基板支承部件支承的所述基板及由所述掩模支承部件支承的所述掩模沿重力方向接近及分离； 测量部件，所述测量部件测量所述基板与所述掩模的位置偏移量； 位置调整部件，所述位置调整部件调整所述基板与所述掩模的与所述重力方向正交的水平方向上的相对位置；以及 控制部件，所述控制部件控制所述位置调整部件， 在所述位置偏移量在容许范围内的情况下，使所述基板与所述掩模相互重合， 其特征在于， 所述对准装置具备取得部件，所述取得部件取得由所述基板支承部件支承的基板的与分割前的所述大型基板中的部位相关并且考虑到包括尺寸和刚性分布中的至少一方在内的基板特性的基板信息， 当在使所述基板与所述掩模局部地接触的状态下利用所述测量部件测量所述位置偏移量之后，当在利用所述接离部件使所述基板与所述掩模分离的状态下利用所述位置调整部件调整所述水平方向上的相对位置时，所述控制部件基于由所述测量部件测量出的所述位置偏移量和所述取得部件取得的所述基板信息，控制所述位置调整部件。

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