川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司吉田雅也获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司申请的专利基板搬运装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114008745B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080045909.2，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板搬运装置是由吉田雅也;田中佑治;中原一设计研发完成，并于2020-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬运装置在说明书摘要公布了：本发明的基板搬运装置具备：基座；臂；末端执行器，设置于臂的前端，并具有分支为两股的第1前端部和第2前端部；发光部；受光部；以及控制装置，控制臂的动作。控制装置控制臂的动作，使得在末端执行器的前端前进的光扫描容纳于FOUP的多张基板的边缘，并且根据在臂的动作中光与基板的相对的位置关系，比较在受光部连续地变化的输出值的测定波形的形状图案与比较用的基准波形的形状图案，并基于比较结果，诊断基板的状态、FOUP的状态以及末端执行器的状态中的至少一个状态。
本发明授权基板搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种基板搬运装置，其中， 所述基板搬运装置具备： 基座； 机器人臂，安装于所述基座； 末端执行器，设置于所述机器人臂的前端，并具有分支为两股的第1前端部和第2前端部； 发光部，构成为从所述第1前端部朝向所述第2前端部发出光； 受光部，构成为根据在所述第1前端部与第2前端部之间的空间行进并入射至所述第2前端部的光的受光量将检测光转换为连续地变化的输出值；以及 控制装置，控制所述机器人臂的动作， 所述控制装置构成为： 控制所述机器人臂的动作，使得在所述末端执行器的前端行进的光扫描容纳于FOUP的多张基板的边缘， 并且根据在该机器人臂的动作中所述光与所述基板的相对的位置关系，比较在所述受光部连续地变化的输出值的测定波形的形状图案与比较用的基准波形的形状图案，并基于比较结果，诊断所述基板的状态、所述FOUP的状态以及所述末端执行器的状态中的至少一个状态， 其中，所述基板的状态是所述基板的表面是否倾斜， 所述FOUP的状态是所述FOUP是否倾斜， 所述末端执行器的状态是所述末端执行器是否倾斜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司，其通讯地址为：日本兵库县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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