ELES半导体设备股份公司法布里齐奥·斯考克彻缇获国家专利权
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龙图腾网获悉ELES半导体设备股份公司申请的专利基于可伸展元件对受测电子装置进行热调节获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114096861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080044131.3,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权基于可伸展元件对受测电子装置进行热调节是由法布里齐奥·斯考克彻缇设计研发完成,并于2020-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于可伸展元件对受测电子装置进行热调节在说明书摘要公布了:本公开提出一种热调节装置100,其中使工艺导热流体110在多个可伸展元件105中循环;调节所述工艺导热流体110的压力来伸长所述可伸展元件105,以使得所述可伸展元件压靠在相应的受测电子装置205上以对所述受测电子装置进行热调节。本公开还提出一种包括此热调节装置100的测试设备200。此外,本公开提出一种相应的用于对受测电子装置105进行热调节的方法及一种相应的用于测试电子装置205的方法。
本发明授权基于可伸展元件对受测电子装置进行热调节在权利要求书中公布了:1.一种用于对多个受测电子装置205进行热调节的热调节装置100, 其特征在于 所述电子装置205被装纳在一个或多个测试板210中,每个所述测试板210具有多个插座220,每个所述插座220用于以可拆卸的方式装纳所述电子装置205中相应的一个电子装置; 所述热调节装置100包括: 多个具有可变长度的对应于所述插座220的可伸展元件105,每一个所述可伸展元件用于以单独的方式对所述电子装置205中被装纳在相应的所述插座220中的相应的一个电子装置进行热调节, 工艺循环系统115,所述工艺循环系统用于使工艺导热流体110在所述可伸展元件105中循环, 工艺热交换系统120,所述工艺热交换系统用于与所述工艺导热流体110进行热交换,和 压力调节系统125,所述压力调节系统用于调节所述工艺导热流体110的压力以使所述可伸展元件105在缩短状态与伸长状态之间移动,处于所述伸长状态的所述可伸展元件105中的每一个可伸展元件压靠在相应的所述电子装置205上。
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